发明公开
- 专利标题: 用于转载石英舟的自动传输装置
- 专利标题(英): Automatic transmission device for reshipping quartz boat
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申请号: CN201010101102.4申请日: 2010-01-26
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公开(公告)号: CN101770970A公开(公告)日: 2010-07-07
- 发明人: 吴功 , 闻静 , 郑君强 , 杨瑞秋 , 赵海龙
- 申请人: 沈阳富森科技有限公司
- 申请人地址: 辽宁省沈阳市浑南新区飞云路18号
- 专利权人: 沈阳富森科技有限公司
- 当前专利权人: 上海大族富创得科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 201114 上海市闵行区万芳路555号1号楼202室
- 代理机构: 沈阳科威专利代理有限责任公司
- 代理商 刁佩德
- 主分类号: H01L21/677
- IPC分类号: H01L21/677 ; H01L31/18
摘要:
一种用于转载石英舟的自动传输装置,解决了传统手工操作可靠性较差、效率低和现有传输装置受结构的约束,影响移动的活动范围等问题,它包括机架、升降臂和抓取机构以及电气控制装置,其技术要点是:升降臂通过连接其上的主动旋转臂、被动旋转臂与抓取机构组成四连杆调整机构,升降臂上的主动旋转臂固定在手臂旋转电机驱动的传动轴上,主动旋转臂的伸缩臂铰接在抓取机构的一端,升降臂上的被动旋转臂固定在被动轴上,另一端铰接在抓取机构上。其设计合理,传动结构简便,移动的活动范围广,且传输定位控制快捷、精确,安装容易,调试、维护方便,显著增加承载能力和运行的安全可靠性,提高热处理设备的作业效率,避免晶圆片或太阳能电池片破损。
公开/授权文献
- CN101770970B 用于转载石英舟的自动传输装置 公开/授权日:2011-08-03
IPC分类: