公开(公告)号：CN101770970A

公开(公告)日：2010-07-07

申请号：CN201010101102.4

申请日：2010-01-26

申请人： 沈阳富森科技有限公司

发明人： 吴功 ,  闻静 ,  郑君强 ,  杨瑞秋 ,  赵海龙

IPC分类号： H01L21/677 ,  H01L31/18

CPC分类号： Y02P70/521

摘要： 一种用于转载石英舟的自动传输装置，解决了传统手工操作可靠性较差、效率低和现有传输装置受结构的约束，影响移动的活动范围等问题，它包括机架、升降臂和抓取机构以及电气控制装置，其技术要点是：升降臂通过连接其上的主动旋转臂、被动旋转臂与抓取机构组成四连杆调整机构，升降臂上的主动旋转臂固定在手臂旋转电机驱动的传动轴上，主动旋转臂的伸缩臂铰接在抓取机构的一端，升降臂上的被动旋转臂固定在被动轴上，另一端铰接在抓取机构上。其设计合理，传动结构简便，移动的活动范围广，且传输定位控制快捷、精确，安装容易，调试、维护方便，显著增加承载能力和运行的安全可靠性，提高热处理设备的作业效率，避免晶圆片或太阳能电池片破损。

公开(公告)号：CN101770970B

公开(公告)日：2011-08-03

申请号：CN201010101102.4

申请日：2010-01-26

申请人： 沈阳富森科技有限公司

发明人： 吴功 ,  闻静 ,  郑君强 ,  杨瑞秋 ,  赵海龙

IPC分类号： H01L21/677 ,  H01L31/18

CPC分类号： Y02P70/521

摘要： 一种用于转载石英舟的自动传输装置，解决了传统手工操作可靠性较差、效率低和现有传输装置受结构的约束，影响移动的活动范围等问题，它包括机架、升降臂和抓取机构以及电气控制装置，其技术要点是：升降臂通过连接其上的主动旋转臂、被动旋转臂与抓取机构组成四连杆调整机构，升降臂上的主动旋转臂固定在手臂旋转电机驱动的传动轴上，主动旋转臂的伸缩臂铰接在抓取机构的一端，升降臂上的被动旋转臂固定在被动轴上，另一端铰接在抓取机构上。其设计合理，传动结构简便，移动的活动范围广，且传输定位控制快捷、精确，安装容易，调试、维护方便，显著增加承载能力和运行的安全可靠性，提高热处理设备的作业效率，避免晶圆片或太阳能电池片破损。

公开(公告)号：CN201594534U

公开(公告)日：2010-09-29

申请号：CN201020101520.9

申请日：2010-01-26

申请人： 沈阳富森科技有限公司

发明人： 吴功 ,  闻静 ,  郑君强 ,  杨瑞秋 ,  赵海龙

IPC分类号： H01L21/677

摘要： 一种用于转载石英舟的自动传输装置，解决了传统手工操作可靠性较差、效率低和现有传输装置受结构的约束，影响移动的活动范围等问题，它包括机架、升降臂和抓取机构以及电气控制装置，其技术要点是：升降臂通过连接其上的主动旋转臂、被动旋转臂与抓取机构组成四连杆调整机构，升降臂上的主动旋转臂固定在手臂旋转电机驱动的传动轴上，主动旋转臂的伸缩臂铰接在抓取机构的一端，升降臂上的被动旋转臂固定在被动轴上，另一端铰接在抓取机构上。其设计合理，传动结构简便，移动的活动范围广，且传输定位控制快捷、精确，安装容易，调试、维护方便，显著增加承载能力和运行的安全可靠性，提高热处理设备的作业效率，避免晶圆片或太阳能电池片破损。