公开(公告)号：CN101826479A

公开(公告)日：2010-09-08

申请号：CN201010160044.2

申请日：2010-04-30

申请人： 沈阳富森科技有限公司

发明人： 吴功 ,  闻静 ,  杨瑞秋 ,  郑君强

IPC分类号： H01L21/683 ,  H01L21/677

摘要： 一种用于拾取成组薄片工件的非封闭式高速气流吸附传输装置，解决了现有技术存在的效率低，无法拾取成组薄片工件等问题，它包括气路控制单元、吸盘和移动控制单元，其技术要点是：由气针和吸盘体组成的吸盘密封组装在吸盘基座上，并与移动控制单元固定在一起，使吸盘基座的气室分别与气路控制单元的压缩气体腔及气针的气体入口连通，气流经气室及气体入口快速通过气针内腔形成高速气流，沿吸盘体表面的开式导流槽内保持高流速通过产生压差吸附薄片工件。其结构设计紧凑，气路分布合理，适用范围广，其采用单片独立、开放式的气路，单个薄片工件的吸附失效，不影响成组薄片工件的拾取及传输，显著提高产成品率和传输的安全可靠性及生产效率。

公开(公告)号：CN101826479B

公开(公告)日：2012-01-04

申请号：CN201010160044.2

申请日：2010-04-30

申请人： 沈阳富森科技有限公司

发明人： 吴功 ,  闻静 ,  杨瑞秋 ,  郑君强

IPC分类号： H01L21/683 ,  H01L21/677

摘要： 一种用于拾取成组薄片工件的非封闭式高速气流吸附传输装置，解决了现有技术存在的效率低，无法拾取成组薄片工件等问题，它包括气路控制单元、吸盘和移动控制单元，其技术要点是：由气针和吸盘体组成的吸盘密封组装在吸盘基座上，并与移动控制单元固定在一起，使吸盘基座的气室分别与气路控制单元的压缩气体腔及气针的气体入口连通，气流经气室及气体入口快速通过气针内腔形成高速气流，沿吸盘体表面的开式导流槽内保持高流速通过产生压差吸附薄片工件。其结构设计紧凑，气路分布合理，适用范围广，其采用单片独立、开放式的气路，单个薄片工件的吸附失效，不影响成组薄片工件的拾取及传输，显著提高产成品率和传输的安全可靠性及生产效率。

公开(公告)号：CN101770970B

公开(公告)日：2011-08-03

申请号：CN201010101102.4

申请日：2010-01-26

申请人： 沈阳富森科技有限公司

发明人： 吴功 ,  闻静 ,  郑君强 ,  杨瑞秋 ,  赵海龙

IPC分类号： H01L21/677 ,  H01L31/18

CPC分类号： Y02P70/521

摘要： 一种用于转载石英舟的自动传输装置，解决了传统手工操作可靠性较差、效率低和现有传输装置受结构的约束，影响移动的活动范围等问题，它包括机架、升降臂和抓取机构以及电气控制装置，其技术要点是：升降臂通过连接其上的主动旋转臂、被动旋转臂与抓取机构组成四连杆调整机构，升降臂上的主动旋转臂固定在手臂旋转电机驱动的传动轴上，主动旋转臂的伸缩臂铰接在抓取机构的一端，升降臂上的被动旋转臂固定在被动轴上，另一端铰接在抓取机构上。其设计合理，传动结构简便，移动的活动范围广，且传输定位控制快捷、精确，安装容易，调试、维护方便，显著增加承载能力和运行的安全可靠性，提高热处理设备的作业效率，避免晶圆片或太阳能电池片破损。

公开(公告)号：CN101770970A

公开(公告)日：2010-07-07

申请号：CN201010101102.4

申请日：2010-01-26

申请人： 沈阳富森科技有限公司

发明人： 吴功 ,  闻静 ,  郑君强 ,  杨瑞秋 ,  赵海龙

IPC分类号： H01L21/677 ,  H01L31/18

CPC分类号： Y02P70/521

摘要： 一种用于转载石英舟的自动传输装置，解决了传统手工操作可靠性较差、效率低和现有传输装置受结构的约束，影响移动的活动范围等问题，它包括机架、升降臂和抓取机构以及电气控制装置，其技术要点是：升降臂通过连接其上的主动旋转臂、被动旋转臂与抓取机构组成四连杆调整机构，升降臂上的主动旋转臂固定在手臂旋转电机驱动的传动轴上，主动旋转臂的伸缩臂铰接在抓取机构的一端，升降臂上的被动旋转臂固定在被动轴上，另一端铰接在抓取机构上。其设计合理，传动结构简便，移动的活动范围广，且传输定位控制快捷、精确，安装容易，调试、维护方便，显著增加承载能力和运行的安全可靠性，提高热处理设备的作业效率，避免晶圆片或太阳能电池片破损。

公开(公告)号：CN201655778U

公开(公告)日：2010-11-24

申请号：CN201020175042.6

申请日：2010-04-30

申请人： 沈阳富森科技有限公司

发明人： 吴功 ,  闻静 ,  杨瑞秋 ,  郑君强

IPC分类号： H01L21/683 ,  H01L21/677

摘要： 一种用于拾取成组薄片工件的非封闭式高速气流吸附传输装置，解决了现有技术存在的效率低，无法拾取成组薄片工件等问题，它包括气路控制单元、吸盘和移动控制单元，其技术要点是：由气针和吸盘体组成的吸盘密封组装在吸盘基座上，并与移动控制单元固定在一起，使吸盘基座的气室分别与气路控制单元的压缩气体腔及气针的气体入口连通，气流经气室及气体入口快速通过气针内腔形成高速气流，沿吸盘体表面的开式导流槽内保持高流速通过产生压差吸附薄片工件。其结构设计紧凑，气路分布合理，适用范围广，其采用单片独立、开放式的气路，单个薄片工件的吸附失效，不影响成组薄片工件的拾取及传输，显著提高产成品率和传输的安全可靠性及生产效率。

公开(公告)号：CN201594534U

公开(公告)日：2010-09-29

申请号：CN201020101520.9

申请日：2010-01-26

申请人： 沈阳富森科技有限公司

发明人： 吴功 ,  闻静 ,  郑君强 ,  杨瑞秋 ,  赵海龙

IPC分类号： H01L21/677

摘要： 一种用于转载石英舟的自动传输装置，解决了传统手工操作可靠性较差、效率低和现有传输装置受结构的约束，影响移动的活动范围等问题，它包括机架、升降臂和抓取机构以及电气控制装置，其技术要点是：升降臂通过连接其上的主动旋转臂、被动旋转臂与抓取机构组成四连杆调整机构，升降臂上的主动旋转臂固定在手臂旋转电机驱动的传动轴上，主动旋转臂的伸缩臂铰接在抓取机构的一端，升降臂上的被动旋转臂固定在被动轴上，另一端铰接在抓取机构上。其设计合理，传动结构简便，移动的活动范围广，且传输定位控制快捷、精确，安装容易，调试、维护方便，显著增加承载能力和运行的安全可靠性，提高热处理设备的作业效率，避免晶圆片或太阳能电池片破损。