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涂敷装置及涂敷方法
摘要:
一种即使在基板往工作台上固定需要时间的情况下也能够抑制涂敷装置整体的作业周期长期化的涂敷装置及涂敷方法。这种涂敷装置的涂敷方法包括在工作台的表面载置基板的基板载置工序、在载置于工作台的表面的基板上形成初始膜的初始膜形成工序和从涂敷单元喷出涂敷液且在基板上形成涂敷膜的涂敷膜形成工序,基板载置工序具有在工作台的表面吸附基板的吸附工序,该吸附工序包括初始吸附工序和主要吸附工序,初始吸附工序是吸附包括涂敷开始位置的基板的初始膜形成区域,主要吸附工序是吸附除了初始膜形成区域以外的基板的涂敷膜形成区域,在结束初始吸附工序后、结束主要吸附工序前,开始初始膜形成工序。
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