发明授权
CN101355233B 表面发光半导体激光元件
失效 - 权利终止
- 专利标题: 表面发光半导体激光元件
- 专利标题(英): Surface-emitting semiconductor laser
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申请号: CN200810127276.0申请日: 2004-05-19
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公开(公告)号: CN101355233B公开(公告)日: 2012-09-19
- 发明人: 渡部义昭 , 成井启修 , 黑水勇一 , 山内义则 , 田中嘉幸
- 申请人: 索尼株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 索尼株式会社
- 当前专利权人: 索尼株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 马高平
- 优先权: 140181/03 20030519 JP
- 分案原申请号: 200410085503X 2004.05.19
- 主分类号: H01S5/183
- IPC分类号: H01S5/183 ; H01S5/18 ; H01S5/227
摘要:
一种表面发光半导体激光元件,包括衬底、配置在衬底上的包括半导体多层的下反射体、配置在下反射体上的有源层、配置在有源层上的包括半导体多层的上反射体、具有暴露上反射体的第一开口并且在上反射体上延伸的化合物半导体层,以及配置在第一开口的内部的具有暴露上反射体的第二开口并且在化合物半导体层上延伸的金属膜,其中金属膜与化合物半导体层构成其复数折射率自第二开口的中心向外变化的复数折射率分布结构。还提供一种制造以单峰横向模式发射激光的方法。
公开/授权文献
- CN101355233A 表面发光半导体激光元件 公开/授权日:2009-01-28