- 专利标题: 制造具有经控制的孔径的微孔化学机械抛光材料的方法
- 专利标题(英): Method for manufacturing microporous cmp materials having controlled pore size
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申请号: CN200680044281.4申请日: 2006-10-24
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公开(公告)号: CN101316683A公开(公告)日: 2008-12-03
- 发明人: 阿班尼施沃·普拉塞德
- 申请人: 卡伯特微电子公司
- 申请人地址: 美国伊利诺伊州
- 专利权人: 卡伯特微电子公司
- 当前专利权人: CMC材料股份有限公司
- 当前专利权人地址: 美国伊利诺伊州
- 代理机构: 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 宋莉
- 优先权: 11/265,607 2005.11.02 US
- 国际申请: PCT/US2006/041421 2006.10.24
- 国际公布: WO2007/055901 EN 2007.05.18
- 进入国家日期: 2008-05-27
- 主分类号: B24B3/28
- IPC分类号: B24B3/28 ; B24B37/04 ; H01L21/304
摘要:
一种制造化学机械抛光(CMP)垫的方法,其包括:形成聚合物树脂液体溶液层;在该聚合物溶液层中诱导相分离以产生互穿聚合物网络,该互穿聚合物网络包含散布有连续聚合物贫乏相的连续聚合物富集相,其中该聚合物贫乏相构成各相的合并体积的20%至90%;固化该连续聚合物富集相以形成多孔聚合物片;从该多孔聚合物片移除该聚合物贫乏相的至少一部分;及由此形成CMP垫。该方法提供微孔CMP垫,该微孔CMP垫具有可通过下列方法控制的孔隙率及孔径:选择在该聚合物溶液中的该聚合物树脂的浓度;基于该聚合物在溶剂中的溶解度参数、溶剂的极性来选择溶剂;及选择相分离条件。
公开/授权文献
- CN101316683B 制造具有经控制的孔径的微孔化学机械抛光材料的方法 公开/授权日:2010-12-29
IPC分类: