电子级红磷的生产工艺
摘要:
本发明是一种电子级红磷的生产工艺,将分析纯三氯化磷进行蒸馏、精馏后,得到高纯的三氯化磷,用高纯氢作还原剂通入到盛有三氯化磷的石英扩散炉中,并在加热状况下进行还原,用热水吸收磷蒸汽,收集黄磷并经过滤洗涤处理,得到高纯黄磷。再将黄磷放入特制的转化锅中,加温并加入惰性气体保护,得电子级红磷产品,本发明工艺简单,质量稳定,生产产品能完全满足半导体工业的质量要求。
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