发明授权
CN100550328C 层压系统、IC片及片卷、以及用于制造IC芯片的方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 层压系统、IC片及片卷、以及用于制造IC芯片的方法
- 专利标题(英): Laminating system, IC sheet, roll of IC sheet, and method for manufacturing IC chip
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申请号: CN200510084624.7申请日: 2005-07-15
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公开(公告)号: CN100550328C公开(公告)日: 2009-10-14
- 发明人: 渡边了介 , 高桥秀和 , 鹤目卓也 , 荒井康行 , 渡边康子 , 樋口美由纪
- 申请人: 株式会社半导体能源研究所
- 申请人地址: 日本神奈川
- 专利权人: 株式会社半导体能源研究所
- 当前专利权人: 株式会社半导体能源研究所
- 当前专利权人地址: 日本神奈川
- 代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 付建军
- 优先权: 2004-210620 2004.07.16 JP
- 主分类号: H01L21/56
- IPC分类号: H01L21/56
摘要:
本发明提供一种层压系统,其中,用于密封薄膜集成电路的第二和第三基板之一在以加热熔融态挤压出的同时提供给具有多个薄膜集成电路的第一基板,其它辊子用于供应其它基板、接收IC芯片、分离和密封。通过旋转辊子可连续地进行以下步骤:分离在第一基板上设置的薄膜集成电路;密封分离的薄膜集成电路;和接收密封的薄膜集成电路。因此,极大地提高了生产效率。
公开/授权文献
- CN1722393A 层压系统、IC片及片卷、以及用于制造IC芯片的方法 公开/授权日:2006-01-18
IPC分类: