公开(公告)号：US20160363373A1

公开(公告)日：2016-12-15

申请号：US15172368

申请日：2016-06-03

申请人： Tokyo Electron Limited

发明人： Yuto Noda ,  Tatsuya Yamaguchi ,  Masayoshi Masunaga ,  Koji Yoshii

IPC分类号： F27D19/00 ,  G06N3/12 ,  G05B13/04 ,  F27B1/10 ,  F27B1/02

CPC分类号： F27D19/00 ,  F27B1/02 ,  F27B1/10 ,  F27B17/0025 ,  F27D2019/0096 ,  G05B13/042 ,  G06N3/126 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67248

摘要： The controller receives information including a plurality of evaluation indexes, a weight of each evaluation index, the number of times for calculating a value of an evaluation function, and initial parameter values, and performs a simulation based on the received information. Then, the controller calculates a value of an evaluation function based on a result of the simulation, and determines whether the calculated value of the evaluation function is minimum, to update parameters when it is determined that the value of the evaluation function is minimum. In the calculation of a value of the evaluation function, a value of the evaluation function is calculated again based on the number of times for calculating a value of an evaluation function. The controller generates new parameters by a genetic algorithm when a value of an evaluation function is calculated again.

摘要翻译： 控制器接收包括多个评价指标的信息，各评价指标的权重，用于计算评价函数的值的次数和初始参数值，并且基于接收到的信息进行模拟。 然后，控制器基于模拟结果计算评估函数的值，并且确定评估函数的计算值是否最小，以便在确定评估函数的值最小时更新参数。 在计算评价函数的值时，基于计算评价函数的值的次数再次计算评价函数的值。 当再次计算评估函数的值时，控制器通过遗传算法生成新参数。