公开(公告)号：US20180259847A1

公开(公告)日：2018-09-13

申请号：US15977283

申请日：2018-05-11

Applicant: Samsung Electronics Co., Ltd.

Inventor： Mun Ja KIM ,  Ji-beom YOO ,  Seul-gi KIM ,  Sang-jin CHO ,  Myung-shik CHANG ,  Jang-dong YOU

IPC: G03F1/64 ,  G03F1/62 ,  G03F1/22

CPC classification number: G03F1/64 ,  G03F1/22 ,  G03F1/62

Abstract: A pellicle film for extreme ultraviolet (EUV) lithography includes a graphite-containing thin film.

公开(公告)号：US20140021403A1

公开(公告)日：2014-01-23

申请号：US13943879

申请日：2013-07-17

Applicant: Samsung Electronics Co., Ltd.

Inventor： Ha-jin KIM ,  In-taek HAN ,  Shashikant PATOLE ,  Ji-beom YOO ,  Jae-hun JEONG

IPC: C01B31/02

CPC classification number: C01B32/16 ,  D01F9/12

Abstract: A carbon nanotube includes carbon nanotubes, and an entanglement member which is combined with the carbon nanotubes and has a three-dimensional shape.

Abstract translation: 碳纳米管包括碳纳米管和与碳纳米管组合并具有三维形状的缠结构件。

公开(公告)号：US20160282712A1

公开(公告)日：2016-09-29

申请号：US15034014

申请日：2014-06-03

Applicant: SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. ,  RESEARCH & BUSINESS FOUNDATION SUNGKYUNKWAN UNIVERSITY ,  FINE SEMITECH CORP.

Inventor： Mun Ja KIM ,  Ji-beom YOO ,  Seul-gi KIM ,  Sang-jin CHO ,  Myung-shik CHANG ,  Jang-dong YOU

IPC: G03F1/64 ,  G03F1/62

CPC classification number: G03F1/64 ,  G03F1/22 ,  G03F1/62

Abstract: A pellicle film for extreme ultraviolet (EUV) lithography includes graphite-containing thin film.

Abstract translation: 用于极紫外（EUV）光刻的防护薄膜包括含石墨的薄膜。