Method for testing organic pattern
    1.
    发明授权
    Method for testing organic pattern 有权
    有机图案测试方法

    公开(公告)号:US09235886B2

    公开(公告)日:2016-01-12

    申请号:US14031487

    申请日:2013-09-19

    Abstract: A method for testing an organic pattern including: forming an organic pattern on a test substrate through a mask; acquiring a test image by photographing a predetermined test area of the test substrate; and checking whether an edge of the organic pattern displayed to the test image goes over an edge of a virtual test figure.

    Abstract translation: 一种用于测试有机图案的方法,包括:通过掩模在测试基板上形成有机图案; 通过拍摄测试基板的预定测试区域来获取测试图像; 并且检查显示给测试图像的有机图案的边缘是否超过虚拟测试图的边缘。

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