公开(公告)号：US3319318A

公开(公告)日：1967-05-16

申请号：US34676864

申请日：1964-02-24

Applicant: STANFORD RESEARCH INST

Inventor： TAIMUTY SAMUEL I

IPC: H01J5/18

CPC classification number: H01J5/18 ,  Y10T29/49002 ,  Y10T29/49016 ,  Y10T29/496 ,  Y10T29/4981 ,  Y10T29/49888

公开(公告)号：US3475610A

公开(公告)日：1969-10-28

申请号：US3475610D

申请日：1964-04-02

Applicant: STANFORD RESEARCH INST

Inventor： SOFTKY SHELDON D ,  TAIMUTY SAMUEL I ,  RUBIN SYLVAN

IPC: H01L31/00 ,  H01L31/10 ,  H01J39/12

CPC classification number: H01L31/00 ,  H01L31/10