公开(公告)号：US20130202993A1

公开(公告)日：2013-08-08

申请号：US13827542

申请日：2013-03-14

Applicant: SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. ,  FINE SEMITECH CORP.

Inventor： Jung-jin KIM ,  Bum-hyun AN ,  Chan-uk JEON ,  Jang-dong YOU ,  Sung-wan KIM ,  Ik-jun KIM ,  Jae-hyuck CHOI ,  Han-shin LEE

IPC: G03F1/00

CPC classification number: G03F1/142 ,  C25D11/024 ,  C25D11/026 ,  C25D11/04 ,  C25D11/06 ,  C25D11/18 ,  G03F1/64 ,  Y10T428/13 ,  Y10T428/1317

Abstract: A pellicle frame, including aluminum, aluminum oxide, and a transition metal.

Abstract translation: 防护薄膜组件框架，包括铝，氧化铝和过渡金属。