公开(公告)号：US08828243B2

公开(公告)日：2014-09-09

申请号：US12874879

申请日：2010-09-02

申请人： Rakesh Poddar ,  Ami Chand

发明人： Rakesh Poddar ,  Ami Chand

IPC分类号： G01Q70/08 ,  G01Q60/38 ,  G01Q70/10 ,  B82Y35/00

CPC分类号： G01Q60/38 ,  B82Y35/00 ,  G01Q70/10 ,  Y10T156/10

摘要： A cantilever-tip assembly for atomic force microscopy (AFM) or other scanning probe microscopy and its method of making based on micro-electromechanical systems (MEMS). Two crystalline silicon wafers and attached oxide and nitride layers are bonded together across an intermediate dielectric layer. A thin cantilever with a tetrahedral silicon probe tip at its distal end are formed in one wafer by anisotropic etching of silicon and a support structure is formed in the other wafer to support the proximal end of the cantilever preferably having an inclined face formed by anisotropic silicon etching. The cantilever may be silicon or silicon nitride.

摘要翻译： 用于原子力显微镜（AFM）或其他扫描探针显微镜的悬臂尖组件及其基于微机电系统（MEMS）的制造方法。 两个晶体硅晶片和附着的氧化物和氮化物层通过中间介电层结合在一起。 通过硅的各向异性蚀刻在其一个晶片中形成具有四面体硅探针尖端的薄悬臂梁，并且在另一个晶片中形成支撑结构以支撑悬臂的近端，优选地具有由各向异性硅形成的倾斜面 蚀刻。 悬臂可以是硅或氮化硅。

公开(公告)号：US20120060244A1

公开(公告)日：2012-03-08

申请号：US12874879

申请日：2010-09-02

申请人： Rakesh Poddar ,  Ami Chand

发明人： Rakesh Poddar ,  Ami Chand

IPC分类号： G01Q70/08 ,  B32B38/10 ,  B32B37/00

CPC分类号： G01Q60/38 ,  B82Y35/00 ,  G01Q70/10 ,  Y10T156/10

摘要： A cantilever-tip assembly for atomic force microscopy (AFM) or other scanning probe microscopy and its method of making based on micro-electromechanical systems (MEMS). Two crystalline silicon wafers and attached oxide and nitride layers are bonded together across an intermediate dielectric layer. A thin cantilever with a tetrahedral silicon probe tip at its distal end are formed in one wafer by anisotropic etching of silicon and a support structure is formed in the other wafer to support the proximal end of the cantilever preferably having an inclined face formed by anisotropic silicon etching. The cantilever may be silicon or silicon nitride.

摘要翻译： 用于原子力显微镜（AFM）或其他扫描探针显微镜的悬臂尖组件及其基于微机电系统（MEMS）的制造方法。 两个晶体硅晶片和附着的氧化物和氮化物层通过中间介电层结合在一起。 通过硅的各向异性蚀刻在其一个晶片中形成具有四面体硅探针尖端的薄悬臂梁，并且在另一个晶片中形成支撑结构以支撑悬臂的近端，优选地具有由各向异性硅形成的倾斜面 蚀刻。 悬臂可以是硅或氮化硅。

公开(公告)号：US08819068B1

公开(公告)日：2014-08-26

申请号：US13227300

申请日：2011-09-07

申请人： Korey Allen Knote ,  Kumar S Gounder ,  Mark J Golazeski ,  Deenadayal S Yakkali ,  Jay Borja ,  Rakesh Poddar ,  Suresh Viswanathan

发明人： Korey Allen Knote ,  Kumar S Gounder ,  Mark J Golazeski ,  Deenadayal S Yakkali ,  Jay Borja ,  Rakesh Poddar ,  Suresh Viswanathan

IPC分类号： G06F17/30

CPC分类号： G06F17/30339

摘要： In some implementations, a user interface (UI) module provides a user interface to a user device to enable input of information for creating or modifying a database object, such as a schema object of a schema maintained in one or more separate databases. The UI module may determine validity of the inputs in real time as the user enters the inputs. Further, the UI module may check permissions of the user and/or obtain a manual approval of a request for creating or modifying the database object. The UI module may forward the user inputs with instructions for creating or modifying the database object to one or more databases. Computing devices associated with the databases may create or modify the database object based, at least in part, on the inputs from the user, creation or modification rules, syntax rules and/or a logical database associated with the user.

摘要翻译： 在一些实现中，用户界面（UI）模块向用户设备提供用户界面，以便能够输入用于创建或修改数据库对象的信息，诸如在一个或多个单独的数据库中维护的模式的模式对象。 当用户输入输入时，UI模块可以实时地确定输入的有效性。 此外，UI模块可以检查用户的许可和/或获得用于创建或修改数据库对象的请求的手动批准。 UI模块可以将用户输入转发到用于创建或修改数据库对象到一个或多个数据库的指令。 与数据库相关联的计算设备可以至少部分地基于来自用户的输入，创建或修改规则，语法规则和/或与用户相关联的逻辑数据库来创建或修改数据库对象。