公开(公告)号：US3089793A

公开(公告)日：1963-05-14

申请号：US80668359

申请日：1959-04-15

Applicant: RCA CORP

Inventor： JORDAN EUGENE L ,  DONAHUE DANIEL J

IPC: H01L29/73 ,  C23C16/40 ,  C30B31/18 ,  H01L21/00 ,  H01L21/225 ,  H01L21/316 ,  H01L21/331 ,  H01L23/488 ,  H01L29/00

CPC classification number: H01L23/488 ,  C23C16/402 ,  C30B31/185 ,  H01L21/00 ,  H01L21/02164 ,  H01L21/02216 ,  H01L21/02263 ,  H01L21/2252 ,  H01L21/31608 ,  H01L29/00 ,  H01L2924/0002 ,  Y10S252/95 ,  H01L2924/00