公开(公告)号：US07622378B2

公开(公告)日：2009-11-24

申请号：US11269581

申请日：2005-11-09

申请人： Junjun Liu ,  Eric M. Lee ,  Dorel L. Toma

发明人： Junjun Liu ,  Eric M. Lee ,  Dorel L. Toma

IPC分类号： G21G1/00 ,  H01L21/31

CPC分类号： H01L21/02348 ,  B05D3/062 ,  H01L21/67034 ,  H01L21/67115 ,  H01L21/67207

摘要： A multi-step system and method for curing a dielectric film in which the system includes a drying system configured to reduce the amount of contaminants, such as moisture, in the dielectric film. The system further includes a curing system coupled to the drying system, and configured to treat the dielectric film with ultraviolet (UV) radiation and infrared (IR) radiation in order to cure the dielectric film.

摘要翻译： 一种用于固化电介质膜的多步骤系统和方法，其中所述系统包括被配置为减少所述电介质膜中的诸如水分的污染物的量的干燥系统。 该系统还包括耦合到干燥系统的固化系统，并且被配置为用紫外线（UV）辐射和红外（IR）辐射来处理电介质膜，以便固化电介质膜。

公开(公告)号：US08642488B2

公开(公告)日：2014-02-04

申请号：US12605863

申请日：2009-10-26

申请人： Junjun Liu ,  Eric M. Lee ,  Dorel L. Toma

发明人： Junjun Liu ,  Eric M. Lee ,  Dorel L. Toma

IPC分类号： H01L21/26

CPC分类号： H01L21/02348 ,  B05D3/062 ,  H01L21/67034 ,  H01L21/67115 ,  H01L21/67207

摘要： A multi-step system and method for curing a dielectric film in which the system includes a drying system configured to reduce the amount of contaminants, such as moisture, in the dielectric film. The system further includes a curing system coupled to the drying system, and configured to treat the dielectric film with ultraviolet (UV) radiation and infrared (IR) radiation in order to cure the dielectric film.

摘要翻译： 一种用于固化电介质膜的多步骤系统和方法，其中所述系统包括被配置为减少所述电介质膜中的诸如水分的污染物的量的干燥系统。 该系统还包括耦合到干燥系统的固化系统，并且被配置为用紫外线（UV）辐射和红外（IR）辐射来处理电介质膜，以便固化电介质膜。

公开(公告)号：US20100041248A1

公开(公告)日：2010-02-18

申请号：US12605863

申请日：2009-10-26

申请人： Junjun LIU ,  Eric M. Lee ,  Dorel L. Toma

发明人： Junjun LIU ,  Eric M. Lee ,  Dorel L. Toma

IPC分类号： H01L21/26

CPC分类号： H01L21/02348 ,  B05D3/062 ,  H01L21/67034 ,  H01L21/67115 ,  H01L21/67207

摘要： A multi-step system and method for curing a dielectric film in which the system includes a drying system configured to reduce the amount of contaminants, such as moisture, in the dielectric film. The system further includes a curing system coupled to the drying system, and configured to treat the dielectric film with ultraviolet (UV) radiation and infrared (IR) radiation in order to cure the dielectric film.

摘要翻译： 一种用于固化电介质膜的多步骤系统和方法，其中所述系统包括被配置为减少所述电介质膜中的诸如水分的污染物的量的干燥系统。 该系统还包括耦合到干燥系统的固化系统，并且被配置为用紫外线（UV）辐射和红外（IR）辐射来处理电介质膜，以便固化电介质膜。