公开(公告)号：US5866909A

公开(公告)日：1999-02-02

申请号：US875822

申请日：1997-08-07

Applicant: James Harry Freeman

Inventor： James Harry Freeman

IPC: H01J27/08 ,  H01J27/20 ,  H01J37/05 ,  H01J37/08 ,  H01J37/317 ,  H01J49/10 ,  B01D59/44

CPC classification number: H01J49/10 ,  H01J27/20 ,  H01J37/05

Abstract: A mass-analysed ion beam generator in which the ion beam is in the form of a thin flat ribbon with its major transverse dimension aligned parallel with the direction of the mass-analysing magnetic field.

Abstract translation: PCT No.PCT / GB96 / 00359 Sec。 371日期1997年8月7日 102（e）日期1997年8月7日PCT 1996年2月16日PCT公布。 出版物WO96 / 26530 日期1996年8月29日一种质量分析离子束发生器，其中离子束是薄平坦带形式，其主横向尺寸与质量分析磁场的方向平行排列。

公开(公告)号：US5959303A

公开(公告)日：1999-09-28

申请号：US241120

申请日：1999-02-01

Applicant: James Harry Freeman

Inventor： James Harry Freeman

IPC: H01J27/08 ,  H01J27/20 ,  H01J37/05 ,  H01J37/08 ,  H01J37/317 ,  H01J49/10 ,  B01D59/44

CPC classification number: H01J49/10 ,  H01J27/20 ,  H01J37/05

Abstract: A mass-analysed ion beam generator in which the ion beam is in the form of a thin flat ribbon with its major transverse dimension aligned parallel with the direction of the mass-analysing magnetic field.

Abstract translation: 质量分析的离子束发生器，其中离子束是薄的扁平带形式，其主横向尺寸与质量分析磁场的方向平行排列。

公开(公告)号：US4017403A

公开(公告)日：1977-04-12

申请号：US593188

申请日：1975-07-07

Applicant: James Harry Freeman

Inventor： James Harry Freeman

IPC: H01J37/09 ,  G21K5/04 ,  H01J37/317 ,  H01J49/04 ,  H01J49/30 ,  H01L21/265 ,  H05H7/00 ,  H05K3/06

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J49/30

Abstract: In an ion beam separator for use in ion implantation, the ion beam is scanned in both X and Y directions over a target. `Y` scan is achieved by electrostatic beam deflection located close to the region where the ion beam exits from the influence of the deflecting magnet. `X` scan is preferably provided by rectilinear target movement. Beam width or intensity control is achieved using a rotatable slit. Targets are transferred sequentially across the beam from a pack on one side and are re-stacked on the other side of the beam after exposure.

Abstract translation: 在用于离子注入的离子束分离器中，离子束在X和Y方向上在目标上扫描。 通过位于离离子束离开偏转磁体的影响的区域附近的静电束偏转实现'Y'扫描。 'X'扫描优选由直线目标运动提供。 光束宽度或强度控制使用可旋转狭缝实现。 目标从一侧的包装依次穿过光束传播，并在曝光后重新堆叠在光束的另一侧。