公开(公告)号：US20060103845A1

公开(公告)日：2006-05-18

申请号：US11304647

申请日：2005-12-16

申请人： Hiroshi Tanaka ,  Takuji Maruta

发明人： Hiroshi Tanaka ,  Takuji Maruta

IPC分类号： G01B11/00

CPC分类号： G03F9/7092 ,  G03F9/7011 ,  H01L2223/54453

摘要： A position detection method of detecting a position of a detection mark. The method includes a matching step of calculating a value of a correlation using a template for an image including the detection mark, a change step of changing the template to be used for the correlation, a repeat step of, when a value of a correlation in the matching step is not more than a predetermined value, changing the matching processing while changing the template in the change step, and a step of performing position detection on the basis of a result of correlation in the matching step or the repeat step.

摘要翻译： 一种检测检测标记位置的位置检测方法。 该方法包括使用包括检测标记的图像的模板来计算相关值的匹配步骤，改变要用于相关性的模板的改变步骤，当相关性的值相关时， 匹配步骤不大于预定值，在改变步骤中改变模板的同时改变匹配处理，以及基于匹配步骤或重复步骤中的相关结果执行位置检测的步骤。

公开(公告)号：US07466414B2

公开(公告)日：2008-12-16

申请号：US11304647

申请日：2005-12-16

申请人： Hiroshi Tanaka ,  Takuji Maruta

发明人： Hiroshi Tanaka ,  Takuji Maruta

IPC分类号： G01B11/00

CPC分类号： G03F9/7092 ,  G03F9/7011 ,  H01L2223/54453

摘要： A position detection method of detecting a position of a detection mark. The method includes a matching step of calculating a value of a correlation using a template for an image including the detection mark, a change step of changing the template to be used for the correlation, a repeat step of, when a value of a correlation in the matching step is not more than a predetermined value, changing the matching processing while changing the template in the change step, and a step of performing position detection on the basis of a result of correlation in the matching step or the repeat step.

摘要翻译： 一种检测检测标记位置的位置检测方法。 该方法包括使用包括检测标记的图像的模板来计算相关值的匹配步骤，改变要用于相关性的模板的改变步骤，当相关性的值相关时， 匹配步骤不大于预定值，在改变步骤中改变模板的同时改变匹配处理，以及基于匹配步骤或重复步骤中的相关结果执行位置检测的步骤。

公开(公告)号：US06992766B2

公开(公告)日：2006-01-31

申请号：US10382518

申请日：2003-03-07

申请人： Hiroshi Tanaka ,  Takuji Maruta

发明人： Hiroshi Tanaka ,  Takuji Maruta

IPC分类号： G01B11/00

CPC分类号： G03F9/7092 ,  G03F9/7011 ,  H01L2223/54453

摘要： A method of detecting a position of a mark within image data. The method includes a first step of obtaining a first position of the mark based on a first degree of correlation between a first template and the image data, the first template having a first feature point to obtain the first degree of correlation, a second step of obtaining a second position of the mark based on a second degree of correlation between a second template and the image data, the second template having a second feature point, of which a position is different from that of the first feature point, to obtain the second degree of correlation, and a third step of detecting the position of the mark through the first and second steps.

摘要翻译： 检测图像数据内的标记的位置的方法。 该方法包括：第一步骤，基于第一模板和图像数据之间的第一相关度获得标记的第一位置，第一模板具有第一特征点以获得第一度相关度，第二步骤 基于第二模板和图像数据之间的第二相关度获得标记的第二位置，所述第二模板具有与第一特征点的位置不同的第二特征点，以获得第二特征点 相关度，以及通过第一和第二步骤检测标记的位置的第三步骤。