公开(公告)号：US09136223B2

公开(公告)日：2015-09-15

申请号：US13952231

申请日：2013-07-26

申请人： GLOBALFOUNDRIES Inc.

发明人： Guoxiang Ning ,  Soon Yoeng Tan ,  Seok Yan Poh ,  Paul Ackmann

IPC分类号： H01L21/70 ,  H01L23/544 ,  G03F7/20 ,  G03F1/42 ,  G03F9/00

CPC分类号： H01L23/544 ,  G03F1/42 ,  G03F7/70633 ,  G03F7/70683 ,  G03F9/7076 ,  H01L21/70 ,  H01L2223/5442 ,  H01L2223/54426 ,  H01L2223/54453 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： Methods for forming an alignment mark and the resulting mark are disclosed. Embodiments may include forming a first shape having rotational symmetry; forming a second shape; and forming an alignment mark by combining the first shape and one or more of the second shape, wherein the alignment mark has rotational symmetry.

摘要翻译： 公开了形成对准标记的方法和所得到的标记。 实施例可以包括形成具有旋转对称性的第一形状; 形成第二形状; 以及通过组合所述第一形状和所述第二形状中的一个或多个来形成对准标记，其中所述对准标记具有旋转对称性。