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发明授权
Apparatus for rinsing and drying surfaces 失效
标题翻译：用于冲洗和干燥表面的装置

公开(公告)号：US4984597B1

公开(公告)日：1999-10-26

申请号：US43126889

申请日：1989-11-03

申请人： CFMT INC

发明人： MCCONNELL CHRISTOPHER F , WALTER ALAN E

IPC分类号： B05C3/109 , B08B3/04 , B08B7/00 , H01L21/00

CPC分类号： H01L21/67028 , B05C3/109 , B08B3/04 , B08B7/0092 , B08B2203/002 , Y10S134/902