公开(公告)号：US08431210B2

公开(公告)日：2013-04-30

申请号：US13613667

申请日：2012-09-13

Applicant: Saori Kashiwada ,  Yuichi Oshawa ,  Junichi Ito ,  Chikayoshi Kamata ,  Yoshiyuki Kamata

Inventor： Saori Kashiwada ,  Yuichi Oshawa ,  Junichi Ito ,  Chikayoshi Kamata ,  Yoshiyuki Kamata

IPC: B32B3/00 ,  B32B3/28 ,  B32B3/30

CPC classification number: G11B7/261 ,  G11B7/263 ,  Y10T428/24479 ,  Y10T428/2457 ,  Y10T428/24612

Abstract: In one embodiment, there is provided a master for producing a stamper. The master includes: a substrate made of a first material and comprising a first surface, wherein the first surface of the substrate is formed with a groove; a first layer made of a second material and formed in the groove, wherein the second material is different from the first material, and wherein a surface of the first layer is substantially flush with the first surface of substrate; and a projection portion formed on at least one of the first surface of the substrate and the surface of the first layer. The first material is silicon and the second material is selected from silicon oxide, aluminum oxide, titanium oxide, and glass.

Abstract translation: 在一个实施例中，提供了一种用于制造压模的主机。 主机包括：由第一材料制成并包括第一表面的基板，其中基板的第一表面形成有凹槽; 由第二材料制成并形成在所述凹槽中的第一层，其中所述第二材料与所述第一材料不同，并且其中所述第一层的表面基本上与所述基板的第一表面齐平; 以及形成在所述基板的第一表面和所述第一层的表面中的至少一个上的突出部。 第一种材料是硅，第二种材料选自氧化硅，氧化铝，氧化钛和玻璃。