公开(公告)号：US06185474B2

公开(公告)日：2001-02-06

申请号：US09034019

申请日：1998-03-02

申请人： Takashi Nakamura ,  Yasuyoshi Yamada ,  Satoshi Kyotoku

发明人： Takashi Nakamura ,  Yasuyoshi Yamada ,  Satoshi Kyotoku

IPC分类号： G05D100

CPC分类号： G03F7/70525

摘要： A network type exposure unit connected via a communication network to other exposure units or to an information processor determines whether or not exposure work information of the instructed kind of exposure work is in the storage thereof. When the instructed exposure work information is determined to be non-existent, the unit inquires of the other exposure units or a host equipment whether or not there is therein the exposure work information, and decides executability of the exposure work requested to be started from the result thereof. The exposure work information can be transferred between arbitrary units, thereby alleviating complexity of maintenance and management of the exposure work information.

摘要翻译： 经由通信网络连接到其他曝光单元或信息处理器的网络曝光单元确定所指示的曝光工作的曝光作业信息是否在其存储中。 当指定的曝光工作信息被确定为不存在时，单元询问其他曝光单元或主机设备，其中是否存在曝光作业信息，并且从所述曝光单元或主机设备的请求开始的曝光工作的可执行性确定 结果。 曝光工作信息可以在任意单元之间传送，从而减轻了曝光工作信息的维护和管理的复杂性。