公开(公告)号：US07324863B2

公开(公告)日：2008-01-29

申请号：US11394286

申请日：2006-03-30

申请人： Paul P. Thirumalai ,  Rick Mayer ,  Mike J. Wodarczyk

发明人： Paul P. Thirumalai ,  Rick Mayer ,  Mike J. Wodarczyk

IPC分类号： G06F19/00

CPC分类号： G05B19/41875 ,  G05B2219/32186 ,  G05B2219/32206 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/22

摘要： In one embodiment, the present invention includes a method for receiving a set of inspection files each corresponding to an inspection performed on a wafer of a set of wafers, automatically analyzing the set of inspection files to select at least one inspection file corresponding to a predetermined rule set, and identifying the wafer(s) associated with the selected inspection file(s). Other embodiments are described and claimed.

摘要翻译： 在一个实施例中，本发明包括一种用于接收一组检查文件的方法，每个检查文件对应于在一组晶片的晶片上进行的检查，自动分析检查文件集合，以选择至少一个与预定的 规则集，以及识别与所选择的检查文件相关联的晶片。 描述和要求保护其他实施例。

公开(公告)号：US20070239306A1

公开(公告)日：2007-10-11

申请号：US11394286

申请日：2006-03-30

申请人： Paul Thirumalai ,  Rick Mayer ,  Mike Wodarczyk

发明人： Paul Thirumalai ,  Rick Mayer ,  Mike Wodarczyk

IPC分类号： G06F19/00

CPC分类号： G05B19/41875 ,  G05B2219/32186 ,  G05B2219/32206 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/22

摘要： In one embodiment, the present invention includes a method for receiving a set of inspection files each corresponding to an inspection performed on a wafer of a set of wafers, automatically analyzing the set of inspection files to select at least one inspection file corresponding to a predetermined rule set, and identifying the wafer(s) associated with the selected inspection file(s). Other embodiments are described and claimed.

摘要翻译： 在一个实施例中，本发明包括一种用于接收一组检查文件的方法，每个检查文件对应于在一组晶片的晶片上进行的检查，自动分析检查文件集合，以选择至少一个与预定的 规则集，以及识别与所选择的检查文件相关联的晶片。 描述和要求保护其他实施例。