公开(公告)号：US07254510B2

公开(公告)日：2007-08-07

申请号：US11498544

申请日：2006-08-02

申请人： Neil Benjamin ,  Richard Alan Gottscho ,  Nicolas Bright ,  Robert Steger

发明人： Neil Benjamin ,  Richard Alan Gottscho ,  Nicolas Bright ,  Robert Steger

IPC分类号： G06F19/00

CPC分类号： G01R31/3187 ,  G05B19/4184 ,  G05B2219/31362 ,  G05B2219/31463 ,  Y02P90/14 ,  Y02P90/86

摘要： A method of component management in a substrate processing system is disclosed. The substrate processing system has a set of components, at least a plurality of components of the set of components being designated to be smart components, each component of the plurality of components having an intelligent component enhancement (ICE). The method includes querying the plurality of components to request their respective unique identification data from their respective ICEs. The method further includes receiving unique identification data from the plurality of components if any of the plurality of components responds to the querying. The method additionally includes flagging the first component for corrective action if a first component of the plurality of components fails to provide first component unique identification data when the first component identification data is expected.

摘要翻译： 公开了一种基板处理系统中的部件管理方法。 衬底处理系统具有一组组件，该组组件中的至少多个组件被指定为智能组件，多个组件的每个组件具有智能组件增强（ICE）。 该方法包括查询多个组件以从它们各自的ICE请求它们各自的唯一标识数据。 该方法还包括如果多个组件中的任何组件响应于查询，则从多个组件接收唯一的标识数据。 该方法另外包括：如果在预期第一组件识别数据时多个组件的第一组件不能提供第一组件唯一标识数据，则标记第一组件以用于校正动作。

公开(公告)号：US07152011B2

公开(公告)日：2006-12-19

申请号：US10927161

申请日：2004-08-25

申请人： Neil Benjamin ,  Richard Alan Gottscho ,  Nicolas Bright ,  Robert Steger

发明人： Neil Benjamin ,  Richard Alan Gottscho ,  Nicolas Bright ,  Robert Steger

IPC分类号： G06F19/00

CPC分类号： G01R31/3187 ,  G05B19/4184 ,  G05B2219/31362 ,  G05B2219/31463 ,  Y02P90/14 ,  Y02P90/86

摘要： A method of component management in a substrate processing system is disclosed. The substrate processing system has a set of components, at least a plurality of components of the set of components being designated to be smart components, each component of the plurality of components having an intelligent component enhancement (ICE). The method includes querying the plurality of components to request their respective unique identification data from their respective ICEs. The method further includes receiving unique identification data from the plurality of components if any of the plurality of components responds to the querying. The method additionally includes flagging the first component for corrective action if a first component of the plurality of components fails to provide first component unique identification data when the first component identification data is expected.

摘要翻译： 公开了一种基板处理系统中的部件管理方法。 衬底处理系统具有一组组件，该组组件中的至少多个组件被指定为智能组件，多个组件的每个组件具有智能组件增强（ICE）。 该方法包括查询多个组件以从它们各自的ICE请求它们各自的唯一标识数据。 该方法还包括如果多个组件中的任何组件响应于查询，则从多个组件接收唯一的标识数据。 该方法另外包括：如果在预期第一组件识别数据时多个组件的第一组件不能提供第一组件唯一标识数据，则标记第一组件以用于校正动作。

公开(公告)号：US5847690A

公开(公告)日：1998-12-08

申请号：US547636

申请日：1995-10-24

申请人： Robert Albert Boie ,  Richard Alan Gottscho ,  Allan Robert Kmetz ,  Richard H. Krukar ,  Po-Yen Lu ,  John Robert Morris, Jr.

发明人： Robert Albert Boie ,  Richard Alan Gottscho ,  Allan Robert Kmetz ,  Richard H. Krukar ,  Po-Yen Lu ,  John Robert Morris, Jr.

IPC分类号： G02F1/133 ,  G06F3/033 ,  G06F3/041 ,  G06F3/044 ,  G09F9/00 ,  G09G3/36 ,  G09G5/00

CPC分类号： G06F3/0412 ,  G06F3/044

摘要： A unitary display and sensing device integrates liquid crystal display module elements of a liquid crystal display module for detecting input on a flat panel display screen with the capability for digitizing the detected inputs. In accordance with an illustrative embodiment of the present invention, display elements of a liquid crystal display module are modified to sense input on the display screen. An electrical signal is applied to modified display elements of the liquid crystal display module so that contact with a surface portion of the display screen produces an output signal indicative of its location. The integrated display and sensing device is active matrix addressed for finger input, but may also incorporate display systems for active pen input.

摘要翻译： 一体显示和感测装置集成液晶显示模块的液晶显示模块元件，用于检测平板显示屏上的输入，并具有数字化检测输入的能力。 根据本发明的说明性实施例，液晶显示模块的显示元件被修改以感测显示屏上的输入。 电信号被施加到液晶显示模块的修改的显示元件，使得与显示屏的表面部分的接触产生指示其位置的输出信号。 集成显示和感测装置是用于手指输入的有源矩阵，但也可以包括用于活动笔输入的显示系统。

公开(公告)号：US5976637A

公开(公告)日：1999-11-02

申请号：US746184

申请日：1996-11-06

申请人： Richard Alan Gottscho ,  Jeffrey Alan Gregus ,  Po-Yen Lu

发明人： Richard Alan Gottscho ,  Jeffrey Alan Gregus ,  Po-Yen Lu

IPC分类号： B05D5/12 ,  C03C17/36 ,  C23C14/34 ,  C23C16/02 ,  C23C16/50 ,  C23C28/00 ,  G02F1/1333 ,  G02F1/1362 ,  H01L21/203 ,  H01L21/31 ,  H01L21/768 ,  H05K3/28 ,  H05H1/20

CPC分类号： C03C17/3605 ,  C03C17/36 ,  C03C17/3626 ,  C03C17/3644 ,  C03C17/3649 ,  C23C16/0227 ,  C23C16/0281 ,  C23C28/00 ,  G02F1/133345 ,  G02F1/1362

摘要： The present invention is predicated on applicants' discovery that inhomogeneity in films deposited on heated heterogeneous substrates can be substantially reduced by patterning the large area metal structures. Specifically, metal structures having areas in excess of about 2 mm.sup.2 are patterned so that the metal is within 1 mm of a metal edge. Thus, for example, a normally solid chromium bonding pad on a glass substrate is conveniently made as a patterned, open grid of 1 mm chromium lines. With such patterning, a subsequently deposited layer of silicon nitride has enhanced homogeneity over a large area, including enhanced uniformity of etching rate.

摘要翻译： 本发明基于申请人的发现，通过图案化大面积金属结构，可以显着地减少沉积在加热的异质衬底上的膜的不均匀性。 特别地，具有超过约2mm 2的区域的金属结构被图案化，使得金属在金属边缘的1mm以内。 因此，例如，玻璃基板上的正常固体铬键合焊盘可方便地制成1mm线的图案化开放格栅。 通过这种图案化，随后沉积的氮化硅层在大面积上具有增强的均匀性，包括提高蚀刻速率的均匀性。