公开(公告)号：US06624583B1

公开(公告)日：2003-09-23

申请号：US10185627

申请日：2002-06-28

申请人： Bernard F. Coll ,  Paul A. Vonallmen ,  Frederic Zenhausern

发明人： Bernard F. Coll ,  Paul A. Vonallmen ,  Frederic Zenhausern

IPC分类号： H01J724

CPC分类号： B01D53/323

摘要： A method of treating a first chemical species in a gas using a plasma, the method including the steps of providing an array of micro-scale cavity discharge devices capable of sustaining the plasma where the first chemical species is capable of flowing proximate to the array of micro-scale cavity discharge devices, wherein the first chemical species is converted to a second chemical species within the plasma.

摘要翻译： 一种使用等离子体处理气体中的第一化学物质的方法，所述方法包括以下步骤：提供能够维持等离子体的微尺度空腔排出装置的阵列，其中第一化学物质能够靠近阵列 微尺度空腔排放装置，其中第一化学物质转化为等离子体内的第二化学物质。

公开(公告)号：US06703784B2

公开(公告)日：2004-03-09

申请号：US10174234

申请日：2002-06-18

申请人： Paul A. Vonallmen

发明人： Paul A. Vonallmen

IPC分类号： H01J724

CPC分类号： H01J9/18 ,  H01J17/04

摘要： A microcavity plasma discharge device comprising a micro-cavity device structure which includes N dielectric material structures wherein N is a whole number greater than or equal to one, each N dielectric material structure including a dielectric spacer region with a first opening wherein the dielectric spacer region is sandwiched therebetween a first dielectric material region with a second opening and a second dielectric material region with a third opening wherein the second opening and the third opening are positioned adjacent to the first opening to form a trench with a width and wherein a first conductive material layer is sandwiched between the dielectric spacer region and the first dielectric material region and a second conductive material layer is sandwiched between the dielectric spacer region and the second dielectric material region.

摘要翻译： 一种微腔等离子体放电装置，包括微腔装置结构，其包括N个介电材料结构，其中N是大于或等于1的整数，每个N电介质材料结构包括具有第一开口的电介质间隔区，其中电介质间隔区 夹在其间具有第二开口的第一介电材料区域和具有第三开口的第二介电材料区域，其中第二开口和第三开口定位成与第一开口相邻，以形成具有宽度的沟槽，并且其中第一导电材料 电介质间隔区域和第一电介质材料区域之间夹着第二导电材料层，并且第二导电材料层夹在电介质间隔区域和第二电介质材料区域之间。