公开(公告)号：US20100007866A1

公开(公告)日：2010-01-14

申请号：US12504844

申请日：2009-07-17

申请人： Berndt Warm ,  Siegfried Rennon ,  Guenther Dengel ,  Juergen Baier ,  Udo Dinger ,  Stefan Burkart ,  Christos Kourouklis ,  Hin Yiu Anthony Chung ,  Stefan Wiesner ,  Hartmut Enkisch

发明人： Berndt Warm ,  Siegfried Rennon ,  Guenther Dengel ,  Juergen Baier ,  Udo Dinger ,  Stefan Burkart ,  Christos Kourouklis ,  Hin Yiu Anthony Chung ,  Stefan Wiesner ,  Hartmut Enkisch

IPC分类号： G03B27/70

CPC分类号： G02B5/08 ,  B29D11/00596 ,  G02B5/09 ,  G03F7/702 ,  G03F7/70825

摘要： The disclosure relates to methods for producing mirrors, in particular facet mirrors, and projection exposure apparatuses equipped with the mirrors.

摘要翻译： 本公开涉及用于制造镜子，特别是小平面反射镜的方法和配备有反射镜的投影曝光设备。