公开(公告)号：US5635715A

公开(公告)日：1997-06-03

申请号：US448376

申请日：1996-06-18

Applicant: Claude Le Gressus ,  Claude Faure ,  Daniel Acroute ,  Jose Bezille ,  Hakim Janah ,  Gerard Moya ,  Guy Blaise

Inventor： Claude Le Gressus ,  Claude Faure ,  Daniel Acroute ,  Jose Bezille ,  Hakim Janah ,  Gerard Moya ,  Guy Blaise

IPC: G01N27/92 ,  G01R31/12 ,  H01J37/256

CPC classification number: G01R31/1218 ,  G01N27/92 ,  G01R31/12

Abstract: Process and apparatus for the characterization of an insulator (5) at breakdown with the aid of an electron microscope (1), in which the electron flow rate of the beam (3) is adjusted as a function of in particular backscattered, lost, secondary or absorbed electrons. An automatic controller (9) sensitive to certain sensors (10,12) is provided for this purpose. The electron flow rate is proportional to the voltage to be simulated in the insulator.

Abstract translation: PCT No.PCT / FR94 / 01172 Sec。 371日期1996年6月18日 102（e）1996年6月18日PCT PCT 1994年10月7日PCT公布。 公开号WO95 / 10784 日期1995年04月20日在借助电子显微镜（1）击穿绝缘体（5）的过程和装置中，其中将光束（3）的电子流速作为特定的函数进行调整 背散射，丢失，次级或吸收的电子。 为此，提供对某些传感器（10,12）敏感的自动控制器（9）。 电子流速与绝缘体中要模拟的电压成比例。