公开(公告)号：US07460212B2

公开(公告)日：2008-12-02

申请号：US11825078

申请日：2007-07-03

申请人： Wolfgang Singer ,  Wilhelm Egle ,  Markus Weiss ,  Joachim Hainz ,  Jochen Wietzorrek ,  Frank Melzer ,  Johannes Wangler

发明人： Wolfgang Singer ,  Wilhelm Egle ,  Markus Weiss ,  Joachim Hainz ,  Jochen Wietzorrek ,  Frank Melzer ,  Johannes Wangler

IPC分类号： G21K1/06

CPC分类号： G21K1/06 ,  B82Y10/00 ,  G02B5/09 ,  G02B17/006 ,  G02B19/0014 ,  G02B19/0019 ,  G02B19/0023 ,  G02B19/0047 ,  G02B19/0095 ,  G03F7/70108 ,  G03F7/70158 ,  G03F7/70166 ,  G03F7/70175 ,  G03F7/702 ,  G03F7/70233 ,  G03F7/70825 ,  G21K2201/065 ,  G21K2201/067

摘要： There is provided a collector. The collector includes a first mirror shell positioned inside a second mirror shell that has a chamfered end.

公开(公告)号：US20060097202A1

公开(公告)日：2006-05-11

申请号：US11243403

申请日：2005-10-04

申请人： Wolfgang Singer ,  Wilhelm Egle ,  Markus Weiss ,  Joachim Hainz ,  Jochen Wietzorrek ,  Frank Melzer ,  Johannes Wangler

发明人： Wolfgang Singer ,  Wilhelm Egle ,  Markus Weiss ,  Joachim Hainz ,  Jochen Wietzorrek ,  Frank Melzer ,  Johannes Wangler

IPC分类号： G01J3/10

CPC分类号： G21K1/06 ,  B82Y10/00 ,  G02B5/09 ,  G02B17/006 ,  G02B19/0014 ,  G02B19/0019 ,  G02B19/0023 ,  G02B19/0047 ,  G02B19/0095 ,  G03F7/70108 ,  G03F7/70158 ,  G03F7/70166 ,  G03F7/70175 ,  G03F7/702 ,  G03F7/70233 ,  G03F7/70825 ,  G21K2201/065 ,  G21K2201/067

摘要： There is provided a collector for illumination systems for light having a wavelength ≦193 nm comprising. The collector includes (a) a first mirror shell adjacent to, and positioned inside of, a second mirror shell around a common axis of rotation, in which the first and second mirror shells are rotationally symmetric, and (b) a component in a region between the first and second mirror shells. The collector is for receiving the light from a light source via an object-side aperture and for illuminating an area in an image-side plane, and the region is not used by the light.

摘要翻译： 提供了一种用于具有波长<= 193nm的光的照明系统的收集器。 收集器包括（a）第一反射镜壳体，其围绕公共旋转轴线邻近第二反射镜壳体并位于其内部，其中第一和第二反射镜壳体旋转对称，以及（b）区域中的部件 在第一和第二镜壳之间。 收集器用于经由物体侧孔口接收来自光源的光并且用于照射图像侧平面中的区域，并且该区域不被光使用。

公开(公告)号：US07015489B2

公开(公告)日：2006-03-21

申请号：US10625254

申请日：2003-07-23

申请人： Wolfgang Singer ,  Wilhelm Egle ,  Markus Weiss ,  Joachim Hainz ,  Jochen Wietzorrek ,  Frank Melzer ,  Johannes Wangler

发明人： Wolfgang Singer ,  Wilhelm Egle ,  Markus Weiss ,  Joachim Hainz ,  Jochen Wietzorrek ,  Frank Melzer ,  Johannes Wangler

IPC分类号： G01G1/00

CPC分类号： G21K1/06 ,  B82Y10/00 ,  G02B5/09 ,  G02B17/006 ,  G02B19/0014 ,  G02B19/0019 ,  G02B19/0023 ,  G02B19/0047 ,  G02B19/0095 ,  G03F7/70108 ,  G03F7/70158 ,  G03F7/70166 ,  G03F7/70175 ,  G03F7/702 ,  G03F7/70233 ,  G03F7/70825 ,  G21K2201/065 ,  G21K2201/067

摘要： There is provided a collector for illumination systems for light having a wavelength ≦193 nm comprising. The collector includes (a) a first mirror shell adjacent to, and positioned inside of, a second mirror shell around a common axis of rotation, in which the first and second mirror shells are rotationally symmetric, and (b) a component in a region between the first and second mirror shells. The collector is for receiving the light from a light source via an object-side aperture and for illuminating an area in an image-side plane, and the region is not used by the light.

摘要翻译： 提供了一种用于具有波长<= 193nm的光的照明系统的收集器。 收集器包括（a）第一反射镜壳体，其围绕公共旋转轴线邻近第二反射镜壳体并位于其内部，其中第一和第二反射镜壳体旋转对称，以及（b）区域中的部件 在第一和第二镜壳之间。 收集器用于经由物体侧孔口接收来自光源的光并且用于照射图像侧平面中的区域，并且该区域不被光使用。

公开(公告)号：US20080013680A1

公开(公告)日：2008-01-17

申请号：US11825078

申请日：2007-07-03

申请人： Wolfgang Singer ,  Wilhelm Egle ,  Markus Wiess ,  Joachim Hainz ,  Jochen Wietzorrek ,  Frank Melzer ,  Johannes Wangler

发明人： Wolfgang Singer ,  Wilhelm Egle ,  Markus Wiess ,  Joachim Hainz ,  Jochen Wietzorrek ,  Frank Melzer ,  Johannes Wangler

IPC分类号： G21K5/00 ,  G02B5/08 ,  G02B5/10

CPC分类号： G21K1/06 ,  B82Y10/00 ,  G02B5/09 ,  G02B17/006 ,  G02B19/0014 ,  G02B19/0019 ,  G02B19/0023 ,  G02B19/0047 ,  G02B19/0095 ,  G03F7/70108 ,  G03F7/70158 ,  G03F7/70166 ,  G03F7/70175 ,  G03F7/702 ,  G03F7/70233 ,  G03F7/70825 ,  G21K2201/065 ,  G21K2201/067

摘要： There is provided a collector. The collector includes a first mirror shell positioned inside a second mirror shell that has a chamfered end.

摘要翻译： 有一个收藏家。 收集器包括位于具有倒角端的第二镜壳内的第一镜壳。

公开(公告)号：US07244954B2

公开(公告)日：2007-07-17

申请号：US11243403

申请日：2005-10-04

申请人： Wolfgang Singer ,  Wilhelm Egle ,  Markus Weiss ,  Joachim Hainz ,  Jochen Wietzorrek ,  Frank Melzer ,  Johannes Wangler

发明人： Wolfgang Singer ,  Wilhelm Egle ,  Markus Weiss ,  Joachim Hainz ,  Jochen Wietzorrek ,  Frank Melzer ,  Johannes Wangler

IPC分类号： G02B27/10

CPC分类号： G21K1/06 ,  B82Y10/00 ,  G02B5/09 ,  G02B17/006 ,  G02B19/0014 ,  G02B19/0019 ,  G02B19/0023 ,  G02B19/0047 ,  G02B19/0095 ,  G03F7/70108 ,  G03F7/70158 ,  G03F7/70166 ,  G03F7/70175 ,  G03F7/702 ,  G03F7/70233 ,  G03F7/70825 ,  G21K2201/065 ,  G21K2201/067

摘要： There is provided a collector for illumination systems for light having a wavelength ≦193 nm comprising. The collector includes (a) a first mirror shell adjacent to, and positioned inside of, a second mirror shell around a common axis of rotation, in which the first and second mirror shells are rotationally symmetric, and (b) a component in a region between the first and second mirror shells. The collector is for receiving the light from a light source via an object-side aperture and for illuminating an area in an image-side plane, and the region is not used by the light.

摘要翻译： 提供了一种用于具有波长<= 193nm的光的照明系统的收集器。 收集器包括（a）第一反射镜壳体，其围绕公共旋转轴线邻近第二反射镜壳体并位于其内部，其中第一和第二反射镜壳体旋转对称，以及（b）区域中的部件 在第一和第二镜壳之间。 收集器用于经由物体侧孔口接收来自光源的光并且用于照射图像侧平面中的区域，并且该区域不被光使用。