公开(公告)号：US6110322A

公开(公告)日：2000-08-29

申请号：US036536

申请日：1998-03-06

申请人： Hong Bee Teoh ,  James Jin-Long Chen ,  Cuong C. Nguyen ,  Hanh D. Nguyen

发明人： Hong Bee Teoh ,  James Jin-Long Chen ,  Cuong C. Nguyen ,  Hanh D. Nguyen

IPC分类号： H05B3/00 ,  C23C16/46 ,  C23C16/511 ,  C23F1/02 ,  H01L21/00 ,  H01L21/205 ,  H01L21/68 ,  H01L21/683

CPC分类号： H01L21/67103 ,  C23C16/4586 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/68742 ,  H01L21/68785

摘要： A pedestal heating system provided for heating a pedestal disposed in the processing chamber of a substrate processing system. A pedestal heating system according to the present invention includes: a heater power supply, a transformer, coupled to the heater power supply, a heater element coupled to the transformer, and an RF ground electrode. The transformer is configured to reduce leakage current from the heater element to various elements of the substrate processing system by localizing current leakage loops. The heater element and RF ground electrode are disposed within the pedestal. Preferably, the transformer is simply an isolation transformer. Where an RF energy source is used, such as in a plasma CVD processing system, an EMI filter may be coupled between the transformer and the heater element, or at another point in the power supply chain to prevent feed-through of RF energy to other of the substrate processing system's subsystems, or other sensitive electronic circuitry coupled to the facility's power supply.

摘要翻译： 一种基座加热系统，用于加热设置在基板处理系统的处理室中的基座。 根据本发明的基座加热系统包括：耦合到加热器电源的加热器电源，变压器，耦合到变压器的加热器元件和RF接地电极。 变压器被配置为通过定位电流泄漏回路来减少从加热元件到基板处理系统的各种元件的泄漏电流。 加热器元件和RF接地电极设置在基座内。 优选地，变压器仅仅是隔离变压器。 在诸如在等离子体CVD处理系统中使用RF能量源的地方，EMI滤波器可以耦合在变压器和加热器元件之间，或者在电源链中的另一点处，以防止将RF能量馈送到其它 的衬底处理系统的子系统或耦合到设施的电源的其他敏感电子电路。

公开(公告)号：US06206971B1

公开(公告)日：2001-03-27

申请号：US09281998

申请日：1999-03-29

申请人： Salvador P. Umotoy ,  Lawrence Chung-Lai Lei ,  Russell C. Ellwanger ,  Ronald L. Rose ,  Joel Huston ,  James Jin-Long Chen

发明人： Salvador P. Umotoy ,  Lawrence Chung-Lai Lei ,  Russell C. Ellwanger ,  Ronald L. Rose ,  Joel Huston ,  James Jin-Long Chen

IPC分类号： C23C1600

CPC分类号： B01D8/00 ,  C23C16/4412 ,  Y10S55/15 ,  Y10S55/30

摘要： A temperature-controlled exhaust assembly with cold trap capability. One embodiment of the exhaust assembly comprises a multi-heater design which allows for independent multi-zone closed-loop temperature control. Another embodiment comprises a compact multi-valve uni-body design incorporating a single heater for simplified closed-loop temperature control. The cold trap incorporates a heater for temperature control at the inlet of the trap to minimize undesirable deposits. One embodiment also comprises a multi-stage cold trap and a particle trap. As a removable unit, this cold trap provides additional safety in the handling and disposal of the adsorbed condensables.

摘要翻译： 具有冷阱能力的温度控制排气组件。 排气组件的一个实施例包括允许独立的多区域闭环温度控制的多加热器设计。 另一个实施例包括紧凑的多阀单体设计，其包括用于简化闭环温度控制的单个加热器。 冷阱包含一个加热器，用于在陷阱入口进行温度控制，以尽量减少不必要的沉积物。 一个实施例还包括多级冷阱和颗粒捕集器。 作为可拆卸单元，该冷阱在吸附的可冷凝物的处理和处理中提供了额外的安全性。

公开(公告)号：US06517592B2

公开(公告)日：2003-02-11

申请号：US09740120

申请日：2000-12-19

申请人： Salvador P. Umotoy ,  Lawrence Chung-Lai Lei ,  Russell C. Ellwanger ,  Ronald L. Rose ,  Joel Huston ,  James Jin-Long Chen

发明人： Salvador P. Umotoy ,  Lawrence Chung-Lai Lei ,  Russell C. Ellwanger ,  Ronald L. Rose ,  Joel Huston ,  James Jin-Long Chen

IPC分类号： B01D4508

CPC分类号： B01D8/00 ,  C23C16/4412 ,  Y10S55/15 ,  Y10S55/30

摘要： A temperature-controlled exhaust assembly with cold trap capability. One embodiment of the exhaust assembly comprises a multi-heater design which allows for independent multi-zone closed-loop temperature control. Another embodiment comprises a compact multi-valve uni-body design incorporating a single heater for simplified closed-loop temperature control. The cold trap incorporates a heater for temperature control at the inlet of the trap to minimize undesirable deposits. One embodiment also comprises a multi-stage cold trap and a particle trap. As a removable unit, this cold trap provides additional safety in the handling and disposal of the adsorbed condensables.

摘要翻译： 具有冷阱能力的温度控制排气组件。 排气组件的一个实施例包括允许独立的多区域闭环温度控制的多加热器设计。 另一个实施例包括紧凑的多阀单体设计，其包括用于简化闭环温度控制的单个加热器。 冷阱包含一个加热器，用于在陷阱入口进行温度控制，以尽量减少不必要的沉积物。 一个实施例还包括多级冷阱和颗粒捕集器。 作为可拆卸单元，该冷阱在吸附的可冷凝物的处理和处理中提供了额外的安全性。