公开(公告)号：US09380690B2

公开(公告)日：2016-06-28

申请号：US13884447

申请日：2011-12-21

申请人： Oscar Hemberg ,  Tomi Tuohimaa ,  Björn Sundman

发明人： Oscar Hemberg ,  Tomi Tuohimaa ,  Björn Sundman

IPC分类号： H05G1/52 ,  H01J35/14 ,  H01J35/08

CPC分类号： H01J35/14 ,  H01J35/08 ,  H01J2235/082 ,  H05G1/52

摘要： A technique for indirectly measuring the degree of alignment of a beam in an electron-optical system including aligning means, focusing means and deflection means. To carry out the measurements, a simple sensor may be used, even a single-element sensor, provided it has a well-defined spatial extent. When practiced in connection with an X-ray source which is operable to produce an X-ray target, further, a technique for determining and controlling a width of an electron-beam at its intersection point with the target.

摘要翻译： 一种用于间接测量包括对准装置，聚焦装置和偏转装置的电子 - 光学系统中的光束对准程度的技术。 为了进行测量，可以使用简单的传感器，即使是单元件传感器，只要它具有明确的空间范围。 当与可操作以产生X射线靶的X射线源相结合时，进一步地，用于确定和控制电子束在与目标的交点处的宽度的技术。

公开(公告)号：US20130301805A1

公开(公告)日：2013-11-14

申请号：US13884447

申请日：2011-12-21

申请人： Oscar Hemberg ,  Tomi Tuohimaa ,  Björn Sundman

发明人： Oscar Hemberg ,  Tomi Tuohimaa ,  Björn Sundman

IPC分类号： H05G1/52

CPC分类号： H01J35/14 ,  H01J35/08 ,  H01J2235/082 ,  H05G1/52

摘要： A technique for indirectly measuring the degree of alignment of a beam in an electron-optical system including aligning means, focusing means and deflection means. To carry out the measurements, a simple sensor may be used, even a single-element sensor, provided it has a well-defined spatial extent. When practiced in connection with an X-ray source which is operable to produce an X-ray target, further, a technique for determining and controlling a width of an electron-beam at its intersection point with the target.

摘要翻译： 一种用于间接测量包括对准装置，聚焦装置和偏转装置的电子 - 光学系统中的光束对准程度的技术。 为了进行测量，可以使用简单的传感器，即使是单元件传感器，只要它具有明确的空间范围。 当与可操作以产生X射线靶的X射线源相结合时，进一步地，用于确定和控制电子束在与目标的交点处的宽度的技术。