公开(公告)号：US07011415B2

公开(公告)日：2006-03-14

申请号：US10298423

申请日：2002-11-18

申请人： Anthony DiCarlo ,  Patrick I. Oden ,  Richard L. Knipe ,  Rabah Mezenner ,  James D. Huffman

发明人： Anthony DiCarlo ,  Patrick I. Oden ,  Richard L. Knipe ,  Rabah Mezenner ,  James D. Huffman

IPC分类号： G02B26/00

CPC分类号： B81B3/0035 ,  G02B26/0841 ,  Y10T428/22

摘要： A micromirror array fabricated on a semiconductor substrate. The array is comprised of three operating layers. An addressing layer is fabricated on the substrate. A hinge layer is spaced above the addressing layer by an air gap. A mirror layer is spaced over the hinge layer by a second air gap. The hinge layer has a hinge under and attached to the mirror, the hinge permitting the mirror to tilt. The hinge layer further has spring tips under the mirror, which are attached to the addressing layer. These spring tips provide a stationary landing surface for the mirror.

摘要翻译： 制造在半导体衬底上的微镜阵列。 该阵列由三个操作层组成。 在衬底上制造寻址层。 铰链层通过气隙在寻址层上方间隔开。 镜层通过第二气隙在铰链层上间隔开。 铰链层具有在镜子下方并附接到铰链上的铰链，铰链允许镜子倾斜。 铰链层还具有在镜下的弹簧尖端，其附接到寻址层。 这些弹簧尖端为镜子提供了固定的着陆面。

公开(公告)号：US5912758A

公开(公告)日：1999-06-15

申请号：US59192

申请日：1998-04-13

申请人： Richard L. Knipe ,  Peter F. Vankessel

发明人： Richard L. Knipe ,  Peter F. Vankessel

IPC分类号： G02B26/08 ,  H04N5/74 ,  G02B26/00

CPC分类号： G02B26/0841 ,  G02B26/0833 ,  H04N5/7458 ,  H04N2005/7466

摘要： A method of resetting the cells of a spatial light modulator (FIG. 11). A saturation voltage pulse is applied, causing the cells to achieve a fully saturated state in a given amount of time. A reset pulse of opposite polarization than the saturation voltage pulse is then applied, driving the cells toward the opposite fully saturated state. The reset pulse is removed after the same amount of time, causing the cells to assume their relaxed state in the same amount of time it took them to achieve their fully saturated state.

摘要翻译： 一种复位空间光调制器的单元的方法（图11）。 施加饱和电压脉冲，使得电池在给定的时间内达到完全饱和状态。 然后施加与饱和电压脉冲相反极化的复位脉冲，将电池驱动到相反的完全饱和状态。 在相同的时间量之后去除复位脉冲，导致电池在它们完全达到饱和状态所需的相同时间内呈现放松状态。

公开(公告)号：US5652671A

公开(公告)日：1997-07-29

申请号：US268741

申请日：1994-06-30

申请人： Richard L. Knipe ,  Frank J. Poradish

发明人： Richard L. Knipe ,  Frank J. Poradish

IPC分类号： G02B7/198 ,  E05D1/02 ,  F16C11/04 ,  G02B26/08 ,  G02B26/00

CPC分类号： E05D1/02 ,  G02B26/0816

摘要： An improved hinge (12) for a micro-mechanical device (10). The hinge is fabricated from alternating layers (12a, 12b) of different materials. A first material is selected on the basis of its amenability to fabrication processes and a second material is chosen for its strength, or some other desired characteristic, relative to the first material.

摘要翻译： 一种用于微机械装置（10）的改进的铰链（12）。 铰链由不同材料的交替层（12a，12b）制成。 基于其对制造工艺的适用性选择第一材料，并且相对于第一材料选择第二材料的强度或一些其它期望的特性。