公开(公告)号：US09177841B2

公开(公告)日：2015-11-03

申请号：US13624211

申请日：2012-09-21

Applicant: Samsung Display Co., Ltd.

Inventor： Gil-Hwan Yeo ,  Dong-Hwan Kim ,  Sung-Ku Baek ,  Chan-Uk Jon ,  Il-Sup Choi

IPC: B05B7/06 ,  B05C11/10 ,  B05C5/02 ,  B05D1/26 ,  H01L21/67 ,  B05B7/02 ,  G03F7/16 ,  G09G3/34 ,  B05C11/00 ,  B05B7/08 ,  B05C9/02 ,  G02B26/00

CPC classification number: H01L21/6715 ,  B05B7/025 ,  B05B7/061 ,  B05B7/0876 ,  B05C5/0254 ,  B05C5/027 ,  B05C9/02 ,  B05C11/00 ,  B05C11/1036 ,  G02B26/005 ,  G03F7/16 ,  G09G3/348

Abstract: An exemplary embodiment of the present invention discloses a coating apparatus including a stage configured to receive a substrate and a coating slit part. The coating slit part includes a guide member, a first body, a second body, and a discharge nozzle. The coating slit part is configured to dispose a coating material on the substrate.

Abstract translation: 本发明的一个示例性实施例公开了一种涂覆设备，其包括被配置为接收基底和涂布狭缝部分的台。 涂布狭缝部分包括引导构件，第一主体，第二主体和排出喷嘴。 涂布狭缝部构造成在基板上设置涂布材料。