公开(公告)号：US20110144471A1

公开(公告)日：2011-06-16

申请号：US12639605

申请日：2009-12-16

申请人： Hui-Lin HSU ,  Tri-Rung Yew ,  Hsin Chen ,  Yung-Chan Chen

发明人： Hui-Lin HSU ,  Tri-Rung Yew ,  Hsin Chen ,  Yung-Chan Chen

IPC分类号： A61B5/0478 ,  H05K3/10

CPC分类号： A61B5/0478 ,  A61B5/4058 ,  A61B5/4824 ,  A61B5/6846 ,  A61B2562/125 ,  B82Y15/00 ,  B82Y30/00 ,  H05K1/0393 ,  H05K3/24 ,  H05K2201/026 ,  H05K2201/0323 ,  Y10T29/49155

摘要： The present invention discloses a flexible probe structure comprises at least one electrode using a CNT layer as the electrode interface. The CNT layer disposed on the electrode surface is processed with an UV-ozone treatment to form a great number of carbon-oxygen functional groups on the surface of CNT. The carbon-oxygen functional groups can greatly reduce the interface impedance of the electrode and the biological tissue fluid. Thereby, the measurement can achieve better quality. The present invention also discloses a method for fabricating a flexible probe structure, which comprises steps: preparing a flexible substrate; forming a conductive layer on the flexible substrate, and defining an electrode, a wire and a metal pad on the conductive layer; forming a CNT layer on the electrode; forming an insulating layer on the conductive layer to insulate the wire from the environment; and processing the CNT layer with an UV-ozone treatment.

摘要翻译： 本发明公开了一种柔性探针结构，其包括使用CNT层作为电极界面的至少一个电极。 通过UV-臭氧处理处理设置在电极表面上的CNT层，以在CNT的表面上形成大量的碳 - 氧官能团。 碳氧官能团可以大大降低电极和生物组织液的界面阻抗。 因此，测量可以实现更好的质量。 本发明还公开了一种用于制造柔性探针结构的方法，其包括步骤：制备柔性基底; 在所述柔性基板上形成导电层，并且在所述导电层上限定电极，导线和金属焊盘; 在所述电极上形成CNT层; 在导电层上形成绝缘层以使电线与环境绝缘; 并用UV-臭氧处理处理CNT层。