驱动装置、光学系统、与光刻设备

    公开(公告)号:CN118974652A

    公开(公告)日:2024-11-15

    申请号:CN202380031139.X

    申请日:2023-03-31

    摘要: 一种驱动装置(100),用于驱动和测量致动器(200),致动器用于致动光学系统(300)的光学元件(310),驱动装置包括:驱动单元(110),其具有频率相关第一转移函数(G1),第一转移函数(G1)配置成放大具有至少第一频率范围(F1)和第二频率范围(F2)的时间相关AC电压信号(W),以形成用于致动器(200)的驱动电压(AS),使得第一频率范围(F1)相对于第二频率范围(F2)以特定因子经受更高的增益;电压测量单元(120),其用于提供测量电压(U)并配置为在时域中将致动器(200)的时间相关电压(u)与第二转移函数(G2)进行卷积运算,第二转移函数(G2)基于第一转移函数(G1)的反函数,随后所述测量时间相关电压以提供测量电压(U);以及电流测量单元(130),其用于提供测量电流(I)并配置为在时域中将致动器(200)的时间相关电流(i)与第三转移函数(G3)进行卷积运算,第三转移函数(G3)基于第一转移函数(G1)的反函数,以及配置为随后测量时间相关电流以提供测量电流(I)。

    压电驱动装置、压电驱动系统
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118923031A

    公开(公告)日:2024-11-08

    申请号:CN202380008240.3

    申请日:2023-02-13

    发明人: 宇野胜

    IPC分类号: H02N2/02

    摘要: 本申请课题在于提供一种能够高效地向驱动对象物传递驱动力的压电驱动装置、以及组装有压电驱动装置的压电驱动系统。一种压电驱动装置(100),具备:基部(1);第一支持件(41)以及第二支持件(42),其支撑于所述基部(1);第一压电元件(51),其固定于所述第一支持件(41),并且通过通电变形;第二压电元件(52),其固定于所述第二支持件(42),并且通过通电变形;第一输出部(61),其固定于所述第一压电元件(51),并与被传递驱动力的驱动对象物(200)接触;以及第二输出部(62),其固定于所述第二压电元件(52),并与所述驱动对象物(200)接触,所述第一支持件(41)、所述第一压电元件(51)、以及所述第一输出部(61)的组合相对于所述第二支持件(42)、所述第二压电元件(52)、以及所述第二输出部(62)的组合分离地设置。

    一种基于摩擦力差驱动的仿生步进压电直线执行器

    公开(公告)号:CN118868664A

    公开(公告)日:2024-10-29

    申请号:CN202411337445.9

    申请日:2024-09-25

    申请人: 吉林大学

    IPC分类号: H02N2/02 H02N2/04

    摘要: 本发明公开了一种基于摩擦力差驱动的仿生步进压电直线执行器,属于精密驱动技术领域,包括定子、动子等;定子A包括四对导向铰链A、连接端A、连接端B、连接端C和固定端A;定子B包括四对导向铰链B、连接端D、连接端E、连接端F和固定端B;驱动杆A两端分别与连接端A和连接端F固连,驱动杆B两端分别与连接端C和连接端D固连,阻力杆两端分别与连接端B和连接端E固连,动子滑动连接在驱动杆A、驱动杆B和阻力杆外壁;压电叠堆A和压电叠堆B分别设置于安装槽内,通过两个压电叠堆的时序应变,推动连接有驱动杆的定子发生规律形变,进而带动驱动杆产生轴向位移,从而利用摩擦力差驱动动子实现高精度的步进直线运动。

    光学部件驱动装置、照相机装置以及电子设备

    公开(公告)号:CN118818799A

    公开(公告)日:2024-10-22

    申请号:CN202310434745.8

    申请日:2023-04-21

    摘要: 本发明提供一种即使具备在可动部与支承部之间摩擦力起作用那样的引导机构,也能够使可动部进行原点复原的光学部件驱动装置、照相机装置以及电子设备。透镜驱动装置(5a)具备:可动部(40)、支承部(30)、作为夹设部的滑动板(50)、以及施力部(60)。可动部对透镜体(6)进行保持,并具有可动侧对置部。施力部将可动部与支承部连结,并将可动部向朝向支承部的Z方向施力。施力部具有设置于可动部与支承部的周围的四根拉伸弹簧(61a、61b、61c以及61d),各拉伸弹簧(61a~61d)相对于Z方向倾斜安装,各拉伸弹簧产生的与Z方向正交的方向的分力的总和构成为大小为0且力矩为0。

    压电驱动装置
    6.
    发明公开
    压电驱动装置 审中-实审

    公开(公告)号:CN118763920A

    公开(公告)日:2024-10-11

    申请号:CN202411249243.9

    申请日:2024-09-06

    IPC分类号: H02N2/02 G02B7/09 H02N2/04

    摘要: 本发明属于光学元器件技术领域,具体涉及一种压电驱动装置,包括外壳、底座、压电机构和载体,外壳和底座之间具有中空腔体,压电机构和载体设置在中空腔体内;载体设置在底座内,载体的一个端角位置与底座之间设置有压电机构;底座内壁一对对角位置分别设置有内壁凸起,载体顶端与内壁凸起顶端之间设置有簧片。本发明内壁凸起顶端与载体顶端之间安装有簧片,用于辅助载体纵向运动后的复位操作,使得自动对焦操作更稳定可靠。

    一种用于轨道运输的压电作动器及其工作方法

    公开(公告)号:CN111162688B

    公开(公告)日:2024-09-24

    申请号:CN202010111193.3

    申请日:2020-02-24

    摘要: 本发明公开了一种用于轨道运输的压电作动器及其工作方法,压电作动器包含上梁、下梁、第一至第四固定块、第一至第二双头螺柱、第一至第二弹簧、以及第一至第四调节螺帽;上梁和下梁均包含梁体、第一至第四压电元件组和x个驱动足;第一至第四压电元件组对应均匀设置在梁体的四个侧面上;上梁下梁的x个驱动足设置在与轨道接触的一面上,在摩擦的作用下实现作动器的移动。本发明利用压电激励与摩擦驱动原理实现运载机器人在不同截面下的驱动,利用压电驱动结构简单、紧凑、传动链短的特点,简化整个系统的结构,减少体积和重量,提高可靠性;利用压电驱动控制简便、定位精度高的特点,提高系统的可控性。

    压电致动器
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118677284A

    公开(公告)日:2024-09-20

    申请号:CN202411162497.7

    申请日:2024-08-23

    摘要: 本发明涉及微驱动技术领域,公开一种压电致动器。其中压电致动器包括固定端、致动端和压电组件;以及次动件、换向件和导轨,压电组件能驱动次动件相对于固定端沿第一方向移动,次动件设置有第一导向面,导轨设置有第二导向面,换向件包括换向轴以及同轴套设于换向轴上的第一换向轮和第二换向轮,致动端设置于换向轴,第一换向轮能沿第一导向面滚动,第二换向轮能沿第二导向面滚动,以使换向件沿第二方向移动,第二方向与第一方向呈夹角设置。本发明将致动端沿第二方向的位移转换为次动件沿第一方向的位移,进而缩小了次动件在第二方向的尺寸且无需在第二方向上预留活动空间,有效地减少了压电致动器的尺寸,同时增加了压电致动器的使用场景。

    一种具有平面运动能力的尺蠖式压电驱动器

    公开(公告)号:CN118659683A

    公开(公告)日:2024-09-17

    申请号:CN202410809500.3

    申请日:2024-06-21

    发明人: 陈宇 孟爱华 宋俊

    IPC分类号: H02N2/02 H02N2/04 H02N2/06

    摘要: 本发明涉及压电驱动器领域,具体涉及一种具有平面运动能力的尺蠖式压电驱动器,包括X‑Y轴滑台、X轴线性滑台以及安装在X轴线性滑台上的压电驱动器,所述的压电驱动器与X‑Y轴滑台接触,为中心对称的星型结构,由三个驱动单元组成,三个驱动单元各自拥有一个对称面,三个对称面互相成120°;每个驱动单元均由一个压电堆和变形量放大机构组成,所述的压电堆连接驱动电源模块,首末两端与变形量放大机构接触,所述的变形量放大机构包括多个柔性铰链和多个连杆,相邻两连杆之间通过柔性铰链相连。本发明的驱动单元的三项式分布方法,可以让三个单元实现“行走”式配合,从而赋予步进压电驱动器平面运动的能力,同时精简结构。