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公开(公告)号：CN119555959A
公开(公告)日：2025-03-04
申请号：CN202411721033.5
申请日：2024-11-28
Applicant: 莱斯能特(苏州)科技有限公司
IPC: G01P15/125 , G01P15/08 , B81B7/02
Abstract: 本发明涉及一种悬臂梁式电容MEMS加速度传感器，包括依次设置的上部晶圆层、中间晶圆层和下部晶圆层；所述中间晶圆层用于成型可动质量块、固定电极和锚点；所述锚点设有一个，其位于所述可动质量块的第一端，所述锚点通过弹性梁与可动质量块的所述第一端连接；所述可动质量块与所述固定电极之间沿一个或多个方向构成差分电容组，实现对一个或多个方向加速度的测量；所述上部晶圆层和下部晶圆层分别从两侧与所述中间晶圆层连接，所述固定电极及锚点与上部晶圆层和/或下部晶圆层连接。本发明满足了多轴检测的需求，同时提高可动质量块的面积利用率及工作的可靠性。
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公开(公告)号：CN119555957A
公开(公告)日：2025-03-04
申请号：CN202411528092.0
申请日：2024-10-30
Applicant: 先导原创(上海)新技术研究有限公司
Inventor： 仇旭萍
Abstract: 本发明公开了一种MEMS加速度计及其应用，该MEMS加速度计包括：基板；设置在基板上的若干单元；单元包括：质量块，质量块间隔于基板所在平面，且被配置为在第一加速度作用下可沿平行于基板的第一方向位移；杠杆结构，杠杆结构连接至基板，且在平行于基板的平面，杠杆结构与质量块连接；若干固定电极指，固定电极指连接基板且设置在质量块在第二方向的第一侧，固定电极指沿第二方向延伸；可移动电极，可移动电极设置在质量块在第二方向的第一侧且与杠杆结构连接，每一可移动电极包括若干可移动电极指。本发明只需要进行单面两次刻蚀；引入杠杆结构，使得测量灵敏度能够大大提高，且不影响加速度计的量程；易于进行多轴单片集成。
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公开(公告)号：CN115480076B
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202210987970.X
申请日：2022-08-17
Applicant: 成都华托微纳智能传感科技有限公司
IPC: G01P15/08 , G01P15/125
Abstract: 本发明公开了一种MEMS加速度计抗冲击止挡结构，包括止挡凸块、支撑梁、固定框架、镂空结构和弹性梁；所述支撑梁和固定框架围成矩形边框，所述矩形内部设有镂空结构，所述镂空结构由平行四边形结构和三角形结构组成，所述止挡凸块和支撑梁固定在衬底层，所述固定框架和镂空结构悬浮，所述固定框架两侧通过弹性梁与MEMS加速度计连接。当外界存在强冲击导致可动质量块发生大幅度偏移时，镂空结构使冲击力所做功转换为自身结构变形所需的塑性能减少弹性梁的位移和所承受应力，避免弹性梁断裂，进而使得可动质量块的位移减小，降低对止挡凸块的应力，精确控制止挡距离，有效避免了质量块上的可动梳齿撞击到固定梳齿导致MEMS加速度计失效的问题。
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公开(公告)号：CN119510809A
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202411674535.7
申请日：2024-11-21
Applicant: 成都凯天电子股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种可调节灵敏度的剪切型压电加速度传感器结构，属于压电式加速度传感器技术领域，剪切型压电加速度传感器结构包括基座，基座上设置有高度不同的第一平台面和第二平台面，并且在高的第二平台面安装极化压电元件，在矮的第一平台面安装未极化压电元件，多块未极化压电元件和极化压电元件的顶部设置有质量块，质量块通过螺钉与基座固定连接，质量块用于感受被测加速度后产生惯性力，并将惯性力通过静摩擦方式传递给极化压电元件和未极化压电元件。调节螺钉拧紧力，可实现静摩擦力的调节分配，从而实现加速度传感器灵敏度调节，调节过程方便快捷，不需要拆卸加速度传感器，避免了结构拆装造成压电元件碎裂报废。
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公开(公告)号：CN117169546B
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202311010597.3
申请日：2023-08-11
Applicant: 内蒙古大学
Abstract: 本发明公开了一种基于模态局部化效应的差分式加速度传感器，包括：该差分式加速度传感器属于中心对称结构，包括：质量块，在质量块两侧对称设置有第一耦合器和第二耦合器；第一耦合器和所第二耦合器结构相同；第一耦合器包括对称设置的第一谐振器和第二谐振器；第一谐振器和第二谐振器结构相同；第一谐振器由第一音叉梁构成；第一音叉梁采用工形梁；第二谐振器由第二音叉梁构成；第一音叉梁置于质量块右上侧，第一音叉梁其两端分别通过第一固定端、第一微杠杆和第二微杠杆固定；第二音叉梁位于第一音叉梁的下侧，本发明能够实现传感器灵敏度、分辨率和探测范围的在线调整，具有灵敏度高，鲁棒性强等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119437286A
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN202410987718.8
申请日：2024-07-23
Applicant: 塔莱斯公司
Abstract: 本发明涉及一种加速度计类型的干涉测量超冷原子惯性传感器(10)，包括：‑原子芯片(ACh)，其包括第一基本传感器和第二基本传感器(SENA、SENB)的至少一个集合：‑原子生成设备(ACG)；‑用于生成均匀磁场(Bc)的生成器(GB)；‑电源设备(PSD)；‑其中每个传感器的所述一组一个或多个导电元件的布置以及所述顺序还被配置为使得与第一基本传感器相关联的轨迹(TR1A、TR2A)和与第二基本传感器相关联的轨迹(TR1B、TR2B)是彼此平行的，具有相同的长度，被同时覆盖，并且使得分别来自第一基本传感器和第二基本传感器的第一云的离开方向是相反的；‑传感器还包括检测系统(SDET)。
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公开(公告)号：CN114424030B
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202080066114.X
申请日：2020-09-28
Applicant: 株式会社华尔卡
Abstract: 本发明提供一种耐药品性优异并且防水性、防尘性优异的低耐热性传感器。低耐热性传感器包括：在壳体内配置有传感器单元的传感器主体部；以及电连接到所述传感器主体部的传感器单元的电缆，所述传感器主体部的壳体是氟树脂制的，并且所述电缆用氟树脂制的管覆盖，所述壳体与管的连接部分热接合，从而所述壳体与管一体地构成。
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公开(公告)号：CN118946810A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202280094362.4
申请日：2022-12-27
Applicant: 罗姆股份有限公司
IPC: G01P15/08 , G01P15/125 , H01L29/84
Abstract: 本发明提供一种加速度传感器，其包括：具有第一主面和与第一主面相对的第二主面的器件侧基板；从第一主面向第二主面侧凹陷的凹部；构成差动电路的MEMS电极，其设置在凹部内，包括：具有第一固定电极和相对于该第一固定电极电绝缘的第二固定电极的固定电极；和具有第一可动电极和相对于该第一可动电极电绝缘的第二可动电极的可动电极；和绝缘接头，其将第一可动电极和第二可动电极电绝缘并且机械连接。
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公开(公告)号：CN114280330B
公开(公告)日：2024-11-05
申请号：CN202111239154.2
申请日：2021-10-25
Applicant: 慧石(上海)测控科技有限公司
IPC: G01P15/125 , G01P15/08 , G01P1/00
Abstract: 本发明涉及一种MEMS闭环加速度计及其控制方法，其中，MEMS闭环加速度计包括：MEMS敏感结构，包括质量块、与质量块连接驱动电容以及检测电容；用于将检测电容的电容信号转换为电压信号的检测电路模块；与检测电路模块连接的反馈控制电路模块；检测电容与检测电路模块之间形成电容检测回路，驱动电容、检测电路模块与反馈控制电路模块之间形成电压反馈控制回路；以及用于切换电容检测回路以及电压反馈控制回路的开关控制模块，开关控制模块包括第一固定电容、与电容检测回路和电压反馈控制回路均连接的第一开关以及与第一固定电容和电容检测回路均连接的第二开关。通过上述方式，能够提高驱动电容的大小，增大反馈静电力。
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公开(公告)号：CN118891526A
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202380027695.X
申请日：2023-03-06
Applicant: 索尼集团公司
IPC: G01P15/08
Abstract: 本公开内容涉及惯性测量装置，该惯性测量装置使得可以抑制由于惯性测量单元(IMU)中的剧烈温度变化而导致的测量准确度的下降，剧烈温度变化可归因于随着无人机的移动产生的空气流动。本发明设置有IMU固定基板，该IMU固定基板在其顶表面和底表面上具有用于嵌入并固定用于检测角速度和加速度的IMU的凹部(腔)，底表面中的凹部设置在基板上，使得所述基板用作凹部的盖，并且控制IC设置在顶表面中的凹部上方，以用作所述凹部的盖。可以在无人机中采用本发明。
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