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公开(公告)号：CN1716512A
公开(公告)日：2006-01-04
申请号：CN200510067028.8
申请日：2005-04-21
Applicant: FEI公司
Inventor： B·布伊斯塞 , T·H·J·比斯乔普斯 , M·T·穆维塞
IPC: H01J37/14
CPC classification number: H01J37/143
Abstract: 本发明描述了一种粒子－光学装置，该装置配置成：在两个粒子－光学透镜系统(10、20)的辅助下聚焦带电粒子束(1)。透镜作用由磁场实现，该磁场由恒磁材料(13、23)产生。与装配有线圈的磁透镜相比，在磁透镜装配恒磁材料的情况下，不容易通过改变聚焦磁场来改变光焦度。在本发明的装置中，通过改变粒子束(1)穿过透镜系统(10、20)时具有的能量来改变透镜系统的光焦度。容易通过改变电源(14、24)的电压来实现这种情况。
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公开(公告)号：CN103038855B
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201180037664.X
申请日：2011-10-25
Applicant: 株式会社PARAM
Inventor： 安田洋
IPC: H01J37/143 , H01J37/141 , H01J37/305 , H01L21/027
CPC classification number: H01J3/24 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J3/20 , H01J37/143 , H01J37/3007 , H01J37/3174 , H01J37/3177 , H01J2237/002 , H01J2237/1405
Abstract: 本发明提供了一种用于使用永久磁铁有效地绘制微细图案的装置。所述装置具有：外筒（201），其由以Z轴作为中心轴的圆筒形铁磁体构成；圆筒形永久磁铁（202），其位于所述外筒的内部并且沿Z轴方向磁化；校正线圈（204），其位于所述圆筒形永久磁铁的内部，并且与所述筒形永久磁铁有间隙，并且用于调整由所述筒形永久磁铁沿Z轴方向产生的磁场强度；以及冷却剂通路（203），其位于所述筒形永久磁铁与所述校正线圈之间的间隙中，用于允许冷却剂流过其中并且控制在所述筒形永久磁铁中的温度变化。
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公开(公告)号：CN103748654B
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201280040633.4
申请日：2012-06-25
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 克里斯多夫·西尔斯 , 迈赫兰·纳赛尔-古德西 , 哈什亚·沙德曼
IPC: H01J37/143
CPC classification number: H01J37/143 , H01F7/0278 , H01J37/28 , H01J2237/1405 , H01J2237/1534
Abstract: 本发明涉及一种用于带电粒子聚焦的永久磁性透镜阵列，其包含第一软磁性材料薄片，其中所述第一软磁性材料薄片包含布置成阵列图案的多个通气管锥体突出部，其中每一通气管锥体轴向对称且包含从所述第一软磁性材料薄片的第一表面通到软磁性材料的第二表面的开口及多个永久磁性元件，其中每一永久磁性元件轴向对称且与所述第一软磁性材料薄片的通气管锥体同心地布置，其中所述第一软磁性材料薄片的所述通气管锥体及所述多个永久磁性元件经配置以形成多个磁性透镜，其中每一磁性透镜具有磁场，所述磁场具有垂直于所述软磁性材料的所述第一表面定向的轴向分量。
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公开(公告)号：CN102668013A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201080052970.6
申请日：2010-11-12
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/143 , H01J37/04 , H01J37/141 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/143 , H01J37/04 , H01J37/141 , H01J37/26 , H01J37/28
Abstract: 本发明提供一种能够抑制柱镜筒架的温度上升，且维持分解能等性能，并同时实现装置的小型化的扫描电子显微镜。该扫描电子显微镜利用会聚透镜使从电子源放出的电子线会聚而向试料上照射，并对来自试料的二次电子进行检测，从而观察试料，所述扫描电子显微镜的特征在于，所述会聚透镜具有电磁线圈型及永久磁铁型这两种。
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公开(公告)号：CN101512717B
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：CN200780033271.5
申请日：2007-10-09
Applicant: 电子线技术院株式会社
Inventor： 金浩燮
IPC: H01J37/14
CPC classification number: H01J37/145 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/12 , H01J37/143 , H01J37/3174 , H01J2237/1205 , H01J2237/1405 , H01J2237/26 , H01J2237/3175
Abstract: 在此公开了使用磁透镜层的电子柱。该电子柱包括使用永磁体聚集电子束的磁透镜层。所述磁透镜层包括支撑板、穿过支撑板形成的孔、以及沿孔排列并布置在支撑板上或插入支撑板中的永磁体。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103748654A
公开(公告)日：2014-04-23
申请号：CN201280040633.4
申请日：2012-06-25
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 克里斯多夫·西尔斯 , 迈赫兰·纳赛尔-古德西 , 哈什亚·沙德曼
IPC: H01J37/143
CPC classification number: H01J37/143 , H01F7/0278 , H01J37/28 , H01J2237/1405 , H01J2237/1534
Abstract: 本发明涉及一种用于带电粒子聚焦的永久磁性透镜阵列，其包含第一软磁性材料薄片，其中所述第一软磁性材料薄片包含布置成阵列图案的多个通气管锥体突出部，其中每一通气管锥体轴向对称且包含从所述第一软磁性材料薄片的第一表面通到软磁性材料的第二表面的开口及多个永久磁性元件，其中每一永久磁性元件轴向对称且与所述第一软磁性材料薄片的通气管锥体同心地布置，其中所述第一软磁性材料薄片的所述通气管锥体及所述多个永久磁性元件经配置以形成多个磁性透镜，其中每一磁性透镜具有磁场，所述磁场具有垂直于所述软磁性材料的所述第一表面定向的轴向分量。
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公开(公告)号：CN1716512B
公开(公告)日：2011-07-06
申请号：CN200510067028.8
申请日：2005-04-21
Applicant: FEI公司
Inventor： B·布伊斯塞 , T·H·J·比斯乔普斯 , M·T·穆维塞
IPC: H01J37/14
CPC classification number: H01J37/143
Abstract: 本发明描述了一种粒子-光学装置，该装置配置成：在两个粒子-光学透镜系统(10、20)的辅助下聚焦带电粒子束(1)。透镜作用由磁场实现，该磁场由恒磁材料(13、23)产生。与装配有线圈的磁透镜相比，在磁透镜装配恒磁材料的情况下，不容易通过改变聚焦磁场来改变光焦度。在本发明的装置中，通过改变粒子束(1)穿过透镜系统(10、20)时具有的能量来改变透镜系统的光焦度。容易通过改变电源(14、24)的电压来实现这种情况。
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公开(公告)号：CN101512717A
公开(公告)日：2009-08-19
申请号：CN200780033271.5
申请日：2007-10-09
Applicant: 电子线技术院株式会社
Inventor： 金浩燮
IPC: H01J37/14
CPC classification number: H01J37/145 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/12 , H01J37/143 , H01J37/3174 , H01J2237/1205 , H01J2237/1405 , H01J2237/26 , H01J2237/3175
Abstract: 在此公开了使用磁透镜层的电子柱。该电子柱包括使用永磁体聚集电子束的磁透镜层。所述磁透镜层包括支撑板、穿过支撑板形成的孔、以及沿孔排列并布置在支撑板上或插入支撑板中的永磁体。
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公开(公告)号：CN106024562A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610460749.3
申请日：2016-06-23
Applicant: 复旦大学
IPC: H01J37/143
CPC classification number: H01J37/143
Abstract: 本发明属于透射电子显微镜技术领域，具体为一种消除透射电镜物镜残余磁场的方法。本发明采用交流退磁的方法来消除透射电镜物镜中的残余磁场。为了提供稳定强大的外加磁场，保证消磁的有效性，本发明设计了线圈消磁器，对物镜线圈进行了改造，通过控制通入电流的强度和频率，使消磁器产生磁场的方向是按一定频率（约~0.35 Hz）交替变化，且磁场强度也随磁场方向产生周期性变化，由~400 Oe逐渐减小至趋近于零，有效地消除透射电镜物镜中的残余磁场。
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公开(公告)号：CN104217779B
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201410469965.5
申请日：2014-09-15
Applicant: 华中科技大学
CPC classification number: H01J37/143 , G21K1/093 , G21K5/04 , H01J3/12 , H01J33/00 , H01J37/3178 , H01J2237/0835 , H01J2237/1405 , H01J2237/152
Abstract: 本发明提供一种电子束扩散截面修整装置及方法，具体为：包括两组永磁铁，第一组永磁铁构成的磁场将电子束扩散为近似椭圆形；第二组永磁铁构成的磁场对电子束团边缘进行修整形成近似矩形；通过操作四个纵向调位连接机构，使得第一组永磁铁的上、下磁轭朝向它们之间的中心同步移动，对近似椭圆形的电子束进行首次纵向压缩，以及使得第二组永磁铁的上、下磁轭朝向它们之间的中心同步移动，对近似矩形的电子束再次纵向压缩，直到电子束团纵向尺寸被压缩逼近至80mm。本发明对扩散后的电子束团纵向尺寸进行合理压缩，既保证辐照均匀度及辐照效率最优，又维持在现有描盒钛窗的限定范围内。
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