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公开(公告)号：CN1768003A
公开(公告)日：2006-05-03
申请号：CN200480009096.2
申请日：2004-04-07
Applicant: 布克哈姆技术公共有限公司
Inventor： 瑞安·默里·希基
IPC: B82B3/00
CPC classification number: B81B3/004 , B81B3/0024 , B81B2201/047 , B81B2203/0118 , B81B2203/033 , B81B2203/058 , G02B26/0866 , H01H2061/008
Abstract: 本发明涉及一种非对称MEMS热致动器装置，其包括一个基板部，一般是一对连接垫板，和一个致动器单元，它通过一个挠曲单元与基板部连接。致动器单元有第一臂和第二臂，第一臂与第二臂并排间隔地设置。第二臂比第一臂宽，这样当电流通过其中时，由于两臂所受加热程度的不同，致动器单元就会绕所述挠曲单元弯曲。在第二臂上邻近第一臂处设有一个切口区，以增加至少在切口部位两臂的间距。最好，在邻近第二臂的侧面处再设一散热部。
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公开(公告)号：CN100408336C
公开(公告)日：2008-08-06
申请号：CN01817746.8
申请日：2001-10-19
Applicant: 西尔弗布鲁克研究有限公司
Inventor： 乔治·约翰·麦克沃依 , 卡·西尔弗布鲁克
CPC classification number: B81C99/006 , B41J2/14427 , B81B3/0024 , B81B3/0035 , B81B2201/038 , F03G7/06 , F05C2203/0813 , F05C2203/083 , F05C2251/04 , F05C2251/044 , F05C2251/046 , H01H1/0036 , H01H2061/006 , H01H2061/008
Abstract: 一种热弹性膨胀元件，其由从下列组中选出的材料制成：钛、钽、钼、锯、铬、钨、钒和锆的硼化物、硅化物、碳化物以及氮化物，其中，所述材料具有由下列公式限定的无量纲常量：见右下式，在此，E是所述材料的杨氏模量，γ是热膨胀系数，T是最高的工作温度值，ρ是密度，C是比热，并且εc/εr大于1.74，其中εr为硅的无量纲常量。
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公开(公告)号：CN1694842A
公开(公告)日：2005-11-09
申请号：CN01817746.8
申请日：2001-10-19
Applicant: 西尔弗布鲁克研究有限公司
Inventor： 乔治·约翰·麦克沃依 , 卡·西尔弗布鲁克
CPC classification number: B81C99/006 , B41J2/14427 , B81B3/0024 , B81B3/0035 , B81B2201/038 , F03G7/06 , F05C2203/0813 , F05C2203/083 , F05C2251/04 , F05C2251/044 , F05C2251/046 , H01H1/0036 , H01H2061/006 , H01H2061/008
Abstract: 本发明涉及热弹性制动器设计，该制动器包括一个膨胀元件，该膨胀合元件可以由根据下列程序选出，该程序涉及推导每一个应用的材料的潜在效率的一个指标。这个指标从下列公式中推导出：εγ=Eγ2T/ρC，在此，E是材料的杨氏模量，γ是热膨胀系数，T是工作的最高温度值，ρ是密度，C是比热。元件的材料可以由从下列组中选出的任何功能上合适的合金材料或者合金材料的化合物制成：钛、钽、钼、铌、铬、钨、钒和锆的硼化物、硅化物、碳化物以及氮化物。
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公开(公告)号：CN101689438A
公开(公告)日：2010-03-31
申请号：CN200880022718.3
申请日：2008-06-26
Applicant: 朗讯科技公司
Inventor： 阿尔曼·加斯帕安 , 约翰·梵纳他·盖茨 , 玛丽亚·埃利娜·西蒙
IPC: H01H37/00
CPC classification number: H01H1/0036 , B81B3/0024 , B81B2201/014 , B81B2201/031 , H01H37/00 , H01H2001/0047 , H01H2037/008 , H01H2061/006 , H01H2061/008
Abstract: 本发明提供了一种双向微机电元件、包括所述双向元件的微机电开关和减小所述双向元件中的机械蠕变的方法。在一个实施方式中，所述双向微机电元件包括具有自由端和第一端的冷柱，所述第一端连接到冷柱锚定件。所述冷柱锚定件连接到基板。第一柱对通过自由端拴紧件连接到冷柱并且配置成在被加热从而达到比所述冷柱的温度更高的温度时伸长。第二柱对位于所述冷柱的与第一柱对相对的一侧上并且由所述自由端拴紧件连接到所述第一柱对和所述冷柱。所述第二柱对配置成在被加热从而到达所述的更高的温度时伸长。
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公开(公告)号：CN101512702A
公开(公告)日：2009-08-19
申请号：CN200780033389.8
申请日：2007-09-07
Applicant: 卢森特技术有限公司
Inventor： F·帕多
CPC classification number: H01H61/04 , B81B3/0024 , B81B2201/018 , H01H2001/0047 , H01H2061/006 , H01H2061/008
Abstract: 一种微机电致动器(100)采用金属以用于热臂(101)，并采用硅以用于冷臂(105)的至少柔性部分。由硅制成的冷臂(105)联接至随其移动且当至少两个这样的致动器形成开关时用于携带有待切换的信号的金属线路(107)。第一芯片上的这种开关的阵列可以与以倒装芯片的方式结合到该第一芯片上的第二芯片协调地设置，该第二芯片在其上具有将电气控制流传送到各热臂上以便对其加热且传送有待由该各开关进行切换的信号的线路。
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