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公开(公告)号：CN117028615A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202311043044.8
申请日：2023-08-18
申请人： 显示器生产服务株式会社
摘要： 本发明的夹管阀包括阀壳和，构成通过所述阀壳的流路的夹管袖和，选择地压榨所述夹管袖的压榨机构和，与该压榨机构联动，并且包括强制恢复由压榨机构压榨的夹管袖的复原机构。所述压榨机构包括:被配置为能够在阀壳内上下移动相框形态的滑盖箱和，它包括上部压迫构件，该上部压迫构件被构造成能够在滑动盒内上下移动，所述夹管袖被布置成穿过滑盖箱的下侧部和上部压迫构件之间的空间。根据本发明，在夹管阀打开操作时，夹管袖被强制复原的结构上，即使像特氟龙一样用低弹性材料构成夹管袖，也能确保操作稳定性，因此具有在生产过程中更精密、稳定地控制流体的流动的优点。
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公开(公告)号：CN116135745A
公开(公告)日：2023-05-19
申请号：CN202211362426.2
申请日：2022-11-02
申请人： 显示器生产服务株式会社
IPC分类号： B65G45/04 , H01L21/677
摘要： 本发明提供这样一种衬底传送装置：从朝向在传送轴处设置的轴承部单独供给和调节润滑液的方式变更为统一供给和调节润滑液的集成方式，可以使与轴承部的浸渍容量均匀，并提高润滑和清洗质量，并且排除用于供给润滑液的动力模块，简化复杂的配管结构，从而可以减少泄漏风险。为此，本发明包括：轴承壳体，以轴承为媒介可旋转地支撑传送轴，并且具有润滑液收纳部，其中填充有第一液面高度的润滑液；以及润滑液供给部，将润滑液供给到所述润滑液收纳部。本发明公开了以下特征，即，所述润滑液供给部包括：供给罐，通过供给流路与所述润滑液收纳部连通，填充有第二液面高度的润滑液；以及液位调节部，使所述第一液面高度和所述第二液面高度保持相同。
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公开(公告)号：CN115985804A
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202211022627.8
申请日：2022-08-24
申请人： 显示器生产服务株式会社
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 本发明提供一种处理液罐和包括该处理液罐的衬底处理装置，该处理液罐具有过滤器部，简化供给配管的结构并使供给配管和配管连接部最小化，可以提高设备的可靠性和容易地执行针对泄漏引发问题的安全管理。为此，本发明公开的处理液罐储存用于处理衬底的处理液，包括：罐主体，隔着第一分离带划分为上侧储存部和下侧储存部；过滤器部，设置在罐主体的内部，过滤处理液中包含的异物，过滤器部包括：过滤器主体，设置在第一分离带，其上侧流入部配置在上侧储存部供处理液流入，其下侧排出部配置在下侧储存部供过滤后的处理液排出；过滤器壳体，设置在上侧储存部，覆盖上侧流入部的上部，上侧储存部的处理液流入内部，使上侧流入部浸没在处理液中。
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公开(公告)号：CN115591862A
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202210608787.4
申请日：2022-05-31
申请人： 显示器生产服务株式会社(KR)
摘要： 本发明涉及一种衬底清洗装置，该衬底清洗装置对通过多个腔室的衬底同时执行多功能的清洗，由此可以有效地执行衬底清洗和使衬底清洗及制造空间高效地运行，在清洗工序中稳定地控制腔室内部的气流，由此可以防止在腔室内部产生的雾或烟流出到外部或包含异物的外部空气流入腔室内部，并且可以防止多个腔室之间的气流移动，从而更高效地执行衬底清洗。
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公开(公告)号：CN115206831A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202210163473.8
申请日：2022-02-22
申请人： 显示器生产服务株式会社
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 本发明提供一种处理液供给装置，其可以将传送处理液的配管和配管上设置的过滤器、阀和流量计的设置结构简化并使设置空间最小化的同时将过滤后的处理液以所设定的流量有效地供给到使用处。为此，本发明包括：供给部，对处理液进行加压；过滤器单元，配置在供给部的下游，去除从供给部传送的处理液内的异物；第一配管单元，连接供给部和过滤器单元；流量调节单元，配置在过滤器单元的下游，将从过滤器单元去除了异物的处理液以所设定的流量供给到使用处；第二配管单元，连接过滤器单元和流量调节单元；排泄单元，结合到过滤器单元的下部并支撑过滤器单元，将过滤器单元的内部存在的处理液排出到外部，流量调节单元包括第一阀部和流量测量部。
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公开(公告)号：CN115020273A
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN202210129163.4
申请日：2022-02-11
申请人： 显示器生产服务株式会社
摘要： 本发明提供处理液供给装置和包括该处理液供给装置的基板处理装置，与供给装置的工作无关地使配管内的处理液不会残留或滞留，从而可以防止细菌污染处理液并提高处理液的回收率，并提高所处理的基板的质量。本发明包括：用于喷射处理液的处理液喷射部；用于对储存在处理液储存槽中的处理液进行加压并将其提供给处理液喷射部的处理液供给部；将处理液供给部和处理液喷射部连接的配管模块，配管模块包括：与处理液供给部连接的主管部；从主管部分支的多个分支管部；从分支管部分支并与处理液喷射部连接的多个排出管部，分支管部包括第一配管、第二配管、第三配管，并且不形成与竖直方向正交的水平区间。
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公开(公告)号：CN113948648A
公开(公告)日：2022-01-18
申请号：CN202110646156.7
申请日：2021-06-10
申请人： 显示器生产服务株式会社
发明人： 朴庸硕
IPC分类号： H01L51/50
摘要： 本发明涉及可以提高利用使用离子性液体处理的有机材料制造的有机发光元件和有机电子元件的寿命的有机材料处理方法、使用该有机材料处理方法制造的电子元件制造用有机材料、以及使用电子元件制造用有机材料制造的有机发光元件和有机电子元件。为此，本发明提供有机材料处理方法，其包括：准备步骤，准备有机材料和离子性液体；以及处理步骤，使用所述离子性液体处理所述有机材料，并提供使用该有机材料处理方法制造的电子元件制造用有机材料、以及使用电子元件制造用有机材料制造的有机发光元件和有机电子元件。
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公开(公告)号：CN110553496B
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN201910445769.7
申请日：2019-05-27
申请人： 显示器生产服务株式会社
IPC分类号： F26B21/00
摘要： 本发明涉及上部气刀和下部气刀构成为一体的气刀模块组件及利用该组件的基板干燥装置。本发明提供一种基板干燥装置，其包括：上部气刀；上部支撑单元；下部气刀；下部支撑单元；侧面支撑单元；间隔调节单元，调节上述上部气刀、上述下部气刀与基板之间的间隔；以及角度调节单元，调节上述上部气刀的喷射角度和上述下部气刀的喷射角度的。
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公开(公告)号：CN110553489B
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN201910451330.5
申请日：2019-05-28
申请人： 显示器生产服务株式会社
发明人： 朴庸硕
摘要： 本发明涉及一种基板处理装置，其照射紫外线使基板干燥，并且，能够进行使基板的表面具有亲水性的处理。本发明提供的基板处理装置包括：灯组件，包括紫外线灯和反射罩，上述紫外线灯将紫外线照射到通过传送装置传送的基板，上述反射罩配置在上述紫外线灯的上侧，将从上述紫外线灯照射的紫外线反射向基板；气体供应排出装置，设置在上述基板的上侧，用于向上述基板的上面供应气体并排出沿着上述基板的上表面移动的流体；以及壳体，具有容纳空间，上述容纳空间容纳通过上述紫外线灯加热的气体。
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公开(公告)号：CN106971961B
公开(公告)日：2019-12-10
申请号：CN201611097666.9
申请日：2016-12-02
申请人： 显示器生产服务株式会社
摘要： 本发明提供一种具有提升销组件的基板处理装置，其特征在于，包括：腔室主体，形成收容基板从而处理的内部空间；加热器单元，配置于所述腔室主体的内部空间，上面安置有所述基板并且形成第1提升销槽部；及提升销组件，具备提升销单元，提升销单元将所述加热器单元向上下方向贯通的同时将所述基板上下移动，当所述加热器单元热变形时，根据所述第1提升销槽部的位置移动上部区域向水平方向移动，所述提升销单元，包括：上部提升销，插入到所述第1提升销槽部，及中间提升销，对于所述上部提升销可相对移动，及第1连接部件，连接所述上部提升销和所述中间提升销，及下部提升销，对于所述中间提升销可相对移动，及第2连接部件，连接所述中间提升销和所述下部提升销。
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