公开(公告)号：CN101099228A

公开(公告)日：2008-01-02

申请号：CN200580045971.7

申请日：2005-12-27

Applicant: THK株式会社 ,  株式会社贝尔德克斯

Inventor： 中泽东治 ,  下土敬由 ,  星野京延 ,  三户雅德 ,  羽生明夫 ,  河野贵哉 ,  宍户善明

IPC: H01L21/301 ,  C03B33/033 ,  C03B33/02

Abstract: 本发明提供一种当截断刻有分划线的工件时能够防止在工件的背面因摩擦而发生碎裂的工件的截断方法。本发明的工件(5)的截断方法包括：工件粘合工序，将工件(5)的背面粘贴到可伸缩的薄片(9)上；薄片拉伸工序，拉伸粘贴有工件(5)的薄片(9)；以及工件截断工序，在拉伸薄片(9)的状态下，使分划线(5c)到达工件(5)的背面。由于在薄片(9)的拉伸力的作用下，工件(5)被截断的同时工件(5)被拉开，因而被截断的工件(5)的摩擦减少，能够防止在背面发生碎裂。并且，通过向工件(5)施加拉伸力，拉伸力辅助工件的截断，因此能够以更小的力截断工件(5)。

公开(公告)号：CN100546004C

公开(公告)日：2009-09-30

申请号：CN200580045971.7

申请日：2005-12-27

Applicant: THK株式会社 ,  株式会社贝尔德克斯

Inventor： 中泽东治 ,  下土敬由 ,  星野京延 ,  三户雅德 ,  羽生明夫 ,  河野贵哉 ,  宍户善明

IPC: H01L21/301 ,  C03B33/033 ,  C03B33/02

Abstract: 本发明提供一种当截断刻有分划线的工件时能够防止在工件的背面因摩擦而发生碎裂的工件的截断方法。本发明的工件(5)的截断方法包括：工件粘合工序，将工件(5)的背面粘贴到可伸缩的薄片(9)上；薄片拉伸工序，拉伸粘贴有工件(5)的薄片(9)；以及工件截断工序，在拉伸薄片(9)的状态下，使分划线(5c)到达工件(5)的背面。由于在薄片(9)的拉伸力的作用下，工件(5)被截断的同时工件(5)被拉开，因而被截断的工件(5)的摩擦减少，能够防止在背面发生碎裂。并且，通过向工件(5)施加拉伸力，拉伸力辅助工件的截断，因此能够以更小的力截断工件(5)。

公开(公告)号：CN118402004A

公开(公告)日：2024-07-26

申请号：CN202280083158.2

申请日：2022-12-12

Applicant: THK株式会社

Inventor： 星野京延 ,  福永正人 ,  水户幸治 ,  泽田雅也 ,  青山阳一 ,  下土敬由

IPC: G12B5/00

Abstract: 本申请提供部件数量少并且也适于小型化的进给机构。进给机构(1)具备：基座(2)；可动体(3)；进给丝杠(4)，其使可动体(3)相对于基座(2)移动；以及转矩产生构件(15)，其供与进给丝杠(4)螺合的内螺纹(15b)形成。在可动体(3)形成有沿与进给丝杠(4)正交的方向延伸的收容孔(12)，并将转矩产生构件(15)收容于收容孔(12)。