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公开(公告)号:CN101562127B
公开(公告)日:2013-03-20
申请号:CN200910132710.9
申请日:2009-04-14
Applicant: THK株式会社 , THK英特克斯股份有限公司
IPC: H01L21/00 , H01L21/301 , B28D5/00
Abstract: 本发明提供一种能够使从划线工具赋予工件上的载荷稳定化的划线装置。本发明的划线装置具备:轴部件(1),其具有磁铁(5);电枢(2),其具有围绕轴部件(1)的周围的多个线圈(8);划线工具(4),其设置于轴部件(1)的前端,用于在薄板状的工件(W)上刻上划线;移动机构(21),其使划线工具(4)沿工件(W)的表面相对移动。在电枢(2)的线圈中流过电流,由此划线工具向工件(W)的表面进退。在划线工具与工件(W)的表面接触时,进一步在电枢(2)的线圈中流过电流,由此在按照工件(W)的表面内的划线工具(4)的行进方向使轴部件(1)绕其轴线旋转的状态下,从划线工具(4)向工件(W)赋予载荷。
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公开(公告)号:CN101146657A
公开(公告)日:2008-03-19
申请号:CN200680009613.5
申请日:2006-03-20
IPC: B28D5/00 , C03B33/027
CPC classification number: C03B33/027
Abstract: 本发明提供一种划线装置,在工件上刻上划线的划线装置中,将粗动机构和微动机构巧妙地配合,从而能够在零点位置准确地停止刀具。本发明的划线装置具备:可平行于工件表面移动的基座(3);相对于基座(3)上升下降的移动台(4);在下端设置用于在工件上刻上划线的刀具(2)、且与移动台(4)一起上升下降的头部(6);引导移动台(4)上升下降的第一直动导轨(8)、(9);引导头部(6)上升下降的第二直动导轨(8)、(10)。而且,在移动台(4)及头部(6)的下降中,即使刀具(2)接触工件(1)而使头部(6)的下降停止,也能够容许移动台(4)稍微下降。
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公开(公告)号:CN101146657B
公开(公告)日:2011-12-07
申请号:CN200680009613.5
申请日:2006-03-20
Applicant: THK英特克斯股份有限公司 , THK株式会社
IPC: B28D5/00 , C03B33/027
CPC classification number: C03B33/027
Abstract: 本发明提供一种划线装置,在工件上刻上划线的划线装置中,将粗动机构和微动机构巧妙地配合,从而能够在零点位置准确地停止刀具。本发明的划线装置具备:可平行于工件表面移动的基座(3);相对于基座(3)上升下降的移动台(4);在下端设置用于在工件上刻上划线的刀具(2)、且与移动台(4)一起上升下降的头部(6);引导移动台(4)上升下降的第一直动导轨(8)、(9);引导头部(6)上升下降的第二直动导轨(8)、(10)。而且,在移动台(4)及头部(6)的下降中,即使刀具(2)接触工件(1)而使头部(6)的下降停止,也能够容许移动台(4)稍微下降。
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公开(公告)号:CN101562127A
公开(公告)日:2009-10-21
申请号:CN200910132710.9
申请日:2009-04-14
IPC: H01L21/00 , H01L21/301 , B28D5/00
Abstract: 本发明涉及划线装置以及多轴划线装置。本发明提供一种能够使从划线工具赋予工件上的载荷稳定化的划线装置。本发明的划线装置具备:轴部件(1),其具有磁铁(5);电枢(2),其具有围绕轴部件(1)的周围的多个线圈(8);划线工具(4),其设置于轴部件(1)的前端,用于在薄板状的工件(W)上刻上划线;移动机构(21),其使划线工具(4)沿工件(W)的表面相对移动。在电枢(2)的线圈中流过电流,由此划线工具向工件(W)的表面进退。在划线工具与工件(W)的表面接触时,进一步在电枢(2)的线圈中流过电流,由此在按照工件(W)的表面内的划线工具(4)的行进方向使轴部件(1)绕其轴线旋转的状态下,从划线工具(4)向工件(W)赋予载荷。
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公开(公告)号:CN101099228A
公开(公告)日:2008-01-02
申请号:CN200580045971.7
申请日:2005-12-27
IPC: H01L21/301 , C03B33/033 , C03B33/02
Abstract: 本发明提供一种当截断刻有分划线的工件时能够防止在工件的背面因摩擦而发生碎裂的工件的截断方法。本发明的工件(5)的截断方法包括:工件粘合工序,将工件(5)的背面粘贴到可伸缩的薄片(9)上;薄片拉伸工序,拉伸粘贴有工件(5)的薄片(9);以及工件截断工序,在拉伸薄片(9)的状态下,使分划线(5c)到达工件(5)的背面。由于在薄片(9)的拉伸力的作用下,工件(5)被截断的同时工件(5)被拉开,因而被截断的工件(5)的摩擦减少,能够防止在背面发生碎裂。并且,通过向工件(5)施加拉伸力,拉伸力辅助工件的截断,因此能够以更小的力截断工件(5)。
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公开(公告)号:CN100546004C
公开(公告)日:2009-09-30
申请号:CN200580045971.7
申请日:2005-12-27
IPC: H01L21/301 , C03B33/033 , C03B33/02
Abstract: 本发明提供一种当截断刻有分划线的工件时能够防止在工件的背面因摩擦而发生碎裂的工件的截断方法。本发明的工件(5)的截断方法包括:工件粘合工序,将工件(5)的背面粘贴到可伸缩的薄片(9)上;薄片拉伸工序,拉伸粘贴有工件(5)的薄片(9);以及工件截断工序,在拉伸薄片(9)的状态下,使分划线(5c)到达工件(5)的背面。由于在薄片(9)的拉伸力的作用下,工件(5)被截断的同时工件(5)被拉开,因而被截断的工件(5)的摩擦减少,能够防止在背面发生碎裂。并且,通过向工件(5)施加拉伸力,拉伸力辅助工件的截断,因此能够以更小的力截断工件(5)。
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公开(公告)号:CN101417857A
公开(公告)日:2009-04-29
申请号:CN200810168928.5
申请日:2008-09-27
Applicant: THK株式会社
IPC: C03B33/02
Abstract: 本发明提供一种划线装置及划线方法,其可在工件表面形成如计划好的曲线那样的划线。该划线装置具备:刀轮(11),其在工件(17)的表面刻设划线;支架(31),其保持刀轮(11),使刀轮(11)能够绕其回转中心线回转;移动机构,其使刀轮(11)能够在工件(17)的表面滚动,从而使刀轮(11)相对于工件(17)相对移动;回转机构,其使刀轮(11)以及支架(31)绕与工件(17)的表面正交的垂直线(L2)回转;控制装置,其控制刀轮(11)绕垂直线(L2)的回转角度。刀轮(11)和工件(17)的接触点位于垂直线(L2)上。
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