公开(公告)号：CN106024387B

公开(公告)日：2018-05-29

申请号：CN201610192511.7

申请日：2016-03-30

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 江原慎司 ,  小野寺郁人 ,  若田英子 ,  小山内胜则 ,  谷口真理

IPC: H01G4/33 ,  H01G4/012 ,  H01G4/008

CPC classification number: H01G4/33 ,  H01G4/008 ,  H01G4/012 ,  H01G4/018 ,  H01G4/224 ,  H01G4/306 ,  H01L28/92

Abstract: 本发明所涉及的薄膜电容器具有特征：下部电极(4)能够具有凹凸结构，上部电极(6)也能够具有凹凸结构，上部电极(6)的向下部电极侧突出的凸部位于下部电极(4)的凸部之间的间隙，下部电极(4)含有作为主成分的Cu，基板(1)和应力调整层(2)以及下部电极(4)的杨氏模量具有特定的关系，另外，位于凸部(4b)内部的曲率半径R1的角部具有特定的关系。

公开(公告)号：CN106024387A

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201610192511.7

申请日：2016-03-30

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 江原慎司 ,  小野寺郁人 ,  若田英子 ,  小山内胜则 ,  谷口真理

IPC: H01G4/33 ,  H01G4/012 ,  H01G4/008

CPC classification number: H01G4/33 ,  H01G4/008 ,  H01G4/012 ,  H01G4/018 ,  H01G4/224 ,  H01G4/306 ,  H01L28/92

Abstract: 本发明所涉及的薄膜电容器具有特征：下部电极(4)能够具有凹凸结构，上部电极(6)也能够具有凹凸结构，上部电极(6)的向下部电极侧突出的凸部位于下部电极(4)的凸部之间的间隙，下部电极(4)含有作为主成分的Cu，基板(1)和应力调整层(2)以及下部电极(4)的杨氏模量具有特定的关系，另外，位于凸部(4b)内部的曲率半径R1的角部具有特定的关系。