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公开(公告)号：CN108695492A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201810297998.4
申请日：2018-03-30
Applicant: TDK株式会社
IPC: H01M4/36 , H01M4/38 , H01M4/62 , H01M10/0525
CPC classification number: H01M4/366 , H01M4/382 , H01M4/483 , H01M4/58 , H01M4/5825 , H01M10/052 , H01M10/0525 , H01M2004/027 , Y02E60/122 , Y02T10/7011 , H01M4/362 , H01M4/628
Abstract: 本发明提供一种大气中保存稳定性优异的锂粉、锂离子二次电池用负极及锂离子二次电池。一种锂粉，具备由金属锂构成的核、包覆上述核的表面的包覆层，上述包覆层含有碳酸锂，在上述碳酸锂的表面的至少一部分存在氧化锂。
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公开(公告)号：CN100397038C
公开(公告)日：2008-06-25
申请号：CN200610087963.5
申请日：2006-06-08
Applicant: TDK株式会社
CPC classification number: H01J37/304 , H01J37/3053 , H01J37/32963 , H01J2237/24585 , H01J2237/30466 , H01J2237/3343
Abstract: 本发明提供一种蚀刻量测量装置50，在使用离子束26对衬底22进行蚀刻时，测量衬底22的蚀刻量。蚀刻量测量装置50具备，形成有用于导入离子束26的一部分26a的导入口58a的腔室58、收容在腔室58内且由离子束26的一部分26a蚀刻的被处理部件60、以及接收从被处理部件60产生的物质64同时检测所接收的物质64的质量的质量检测元件70。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1896315A
公开(公告)日：2007-01-17
申请号：CN200610101820.5
申请日：2006-07-11
Applicant: TDK株式会社
CPC classification number: G11B5/3163 , B82Y10/00 , G11B5/3103 , G11B5/3909 , H01J37/08 , H01J2237/3174
Abstract: 根据实施方式的离子束蚀刻方法，包括由惰性气体冷却引出电极(E)的冷却工序(S52)，和用由引出电极(E)所引出的离子束(IB)蚀刻被加工物(W)的蚀刻工序(S54)。
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公开(公告)号：CN1877254A
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：CN200610087963.5
申请日：2006-06-08
Applicant: TDK株式会社
CPC classification number: H01J37/304 , H01J37/3053 , H01J37/32963 , H01J2237/24585 , H01J2237/30466 , H01J2237/3343
Abstract: 本发明提供一种蚀刻量测量装置50，在使用离子束26对衬底22进行蚀刻时，测量衬底22的蚀刻量。蚀刻量测量装置50具备，形成有用于导入离子束26的一部分26a的导入口58a的腔室58、收容在腔室58内且由离子束26的一部分26a蚀刻的被处理部件60、以及接收从被处理部件60产生的物质64同时检测所接收的物质64的质量的质量检测元件70。
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公开(公告)号：CN1896315B
公开(公告)日：2010-05-12
申请号：CN200610101820.5
申请日：2006-07-11
Applicant: TDK株式会社
CPC classification number: G11B5/3163 , B82Y10/00 , G11B5/3103 , G11B5/3909 , H01J37/08 , H01J2237/3174
Abstract: 根据实施方式的离子束蚀刻方法，包括由惰性气体冷却引出电极(E)的冷却工序(S52)，和用由引出电极(E)所引出的离子束(IB)蚀刻被加工物(W)的蚀刻工序(S54)。
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公开(公告)号：CN100503892C
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200610087980.9
申请日：2006-06-09
Applicant: TDK株式会社
CPC classification number: H01J27/16 , H01J37/32357
Abstract: 离子源14具备：形成有开口30a的放电容器30、设置在放电容器30外且用于在放电容器30内生成等离子体33的线圈32、将在放电容器30内生成的等离子体33中的离子从开口30a引出并产生离子束26的引出电极35、向线圈32供给电力的电力供给装置42、以及能将从电力供给装置42输出的输出功率P的值维持在预先设定且使离子束26的离子束强度的径向分布均匀的值P0，同时能使输出功率P在规定期间反复停止的控制装置44。
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公开(公告)号：CN1876894A
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：CN200610087980.9
申请日：2006-06-09
Applicant: TDK株式会社
CPC classification number: H01J27/16 , H01J37/32357
Abstract: 离子源14具备：形成有开口30a的放电容器30、设置在放电容器30外且用于在放电容器30内生成等离子体33的线圈32、将在放电容器30内生成的等离子体33中的离子从开口30a引出并产生离子束26的引出电极35、向线圈32供给电力的电力供给装置42、以及能将从电力供给装置42输出的输出功率P的值维持在预先设定且使离子束26的离子束强度的径向分布均匀的值P0，同时能使输出功率P在规定期间反复停止的控制装置44。
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