具有介电结构的探针卡组件

    公开(公告)号:CN101198878A

    公开(公告)日:2008-06-11

    申请号:CN200680021326.6

    申请日:2006-05-03

    CPC classification number: G01R1/07378

    Abstract: 一种用于在待测半导体器件和测试系统之间提供电互连的探针卡组件。该探针卡组件包括由支撑基板支撑的多个探针,多个探针中的每个都包括远离支撑基板延伸的端部。端部被配置为电连接至待测半导体器件。该探针卡组件还包括置于支撑基板和多个探针的末端之间的介电片,以便探针贯穿由介电片限定的孔。

    平版印刷制作的探针元件的成形方法

    公开(公告)号:CN101111772A

    公开(公告)日:2008-01-23

    申请号:CN200580047211.X

    申请日:2005-11-18

    Abstract: 提供了一种用于对被配置为在探针卡中使用的探针元件的针尖进行成形以与要被检测的半导体装置的接触部建立电连通的方法。该方法包括:(a)平版印刷制作多个探针元件,每个探针元件具有针尖部;以及(b)从多个探针元件的针尖部去除材料,以将每个针尖部形成为适合于刺穿要被探针元件探测的表面的污染物层的形状。

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