公开(公告)号：CN109642318A

公开(公告)日：2019-04-16

申请号：CN201780034217.6

申请日：2017-04-07

Applicant: SIO2医药产品公司

Inventor： J·牛顿 ,  B·R·利利 ,  B·L·克拉克 ,  M·威尔斯 ,  A·塔哈 ,  V·菲利普斯

IPC: C23C16/507 ,  C23C16/455 ,  C23C16/30 ,  C23C16/36

Abstract: 提供了一种用于将润滑层施加到表面的两阶段方法。该两阶段方法包括低功率沉积步骤和高功率交联步骤。该方法包括提供有待加工的器皿或物体的表面。提供了具有内部通道的气体入口，该内部通道具有至少一个出口。提供了外电极。经由该内部通道的至少一个出口引入气态PECVD前体。在有效在该内表面的至少一部分上形成PECVD润滑层的条件下，将电磁能施加到该外电极。在将电磁能施加到该外电极的至少一些时间期间，提供该器皿或该物体与该气体入口之间的相对轴向运动。

公开(公告)号：CN109642318B

公开(公告)日：2022-02-25

申请号：CN201780034217.6

申请日：2017-04-07

Applicant: SIO2医药产品公司

Inventor： J·牛顿 ,  B·R·利利 ,  B·L·克拉克 ,  M·威尔斯 ,  A·塔哈 ,  V·菲利普斯

IPC: C23C16/507 ,  C23C16/455 ,  C23C16/30 ,  C23C16/36