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公开(公告)号:CN1449563A
公开(公告)日:2003-10-15
申请号:CN01814652.X
申请日:2001-06-25
Applicant: OTB集团有限公司
IPC: G11B7/26
CPC classification number: G11B7/261 , Y10S430/146 , Y10T428/31678
Abstract: 本发明涉及一种在模子制造工艺中所用基片的生产方法。本发明还涉及一种在模子制造工艺中所用的基片及在生产光盘中所用模子的一种制造方法,该方法包括对已涂覆到基片上的感光材料膜进行曝光、显影和加热。