公开(公告)号：CN101115675B

公开(公告)日：2011-08-17

申请号：CN200580047787.6

申请日：2005-12-06

Applicant: NXP股份有限公司

Inventor： 帕德罗格·欧马奥尼 ,  弗兰克·卡里斯 ,  特奥·克希斯 ,  克里斯蒂安·帕克特

IPC: B81B7/00

CPC classification number: G01P15/08 ,  B81B7/02 ,  B81B2201/0235 ,  B81C2201/019 ,  G01P15/0802 ,  G01P2015/0828 ,  H04M2250/12 ,  Y10T29/49002

Abstract: 本发明的一个实施例包括多传感器组件(20)。该组件(20)具有：由一个晶片层(51)定义的机电运动传感器构件(57)；由两个或更多个其他晶片层(31、41)中第一晶片层承载的第一传感器(32)；以及由所述其他晶片层(31、41)中第二晶片层承载的第二传感器(42)。所述一个晶片层(51)位于其他晶片层(31、41)之间，从而相应地把所述传感器构件(57)封入所述组件(20)的空腔(56)中。