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发明公开
感光性组成物、成形物的制造方法、成形物及半导体装置无效

公开(公告)号：CN102955360A

公开(公告)日：2013-03-06

申请号：CN201210246030.1

申请日：2012-07-16

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 末光由树 , 川岛直之 , 菅原周一

IPC: G03F7/027 , G03F7/004 , G03F7/00 , G02B3/00

Abstract: 本发明提供一种保存稳定性、UV硬化性优异，且可形成具有耐热性的成形物的感光性树脂组成物、成形物的制造方法、成形物及半导体装置。一种成形物的制造方法，其包含如下步骤：于第1板(1)及第2板(4)的任一方上涂布感光性组成物的步骤，对第1板(1)与第2板(4)进行按压的步骤，于按压所述板的状态下进行曝光的步骤，使第1板(1)与第2板(4)分离的步骤，对感光性组成物涂膜(3)进行加热的步骤，所述感光性组成物包含(a)特定的硫醚化合物，(b)光聚合引发剂、及(c)于1分子内具有1个～6个(甲基)丙烯酰基的化合物。

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