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公开(公告)号:CN1800885A
公开(公告)日:2006-07-12
申请号:CN200510104747.2
申请日:2005-12-15
Applicant: JSR株式会社
IPC: G02B5/20 , G02F1/1335
Abstract: 本发明涉及用于形成着色层的放射线敏感性组合物,其含有着色剂、碱溶性树脂、多官能团单体或其与单官能团单体的组合以及O-酰肟型光自由基产生剂。该组合物能够提供显影时不会残留未溶解物,不会在图象边缘产生浮渣,而且即使在低曝光量下也不会产生图案边缘的欠缺以及咬边的像素以及黑色矩阵。
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公开(公告)号:CN101256359A
公开(公告)日:2008-09-03
申请号:CN200810081378.3
申请日:2008-02-25
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明提供彩色滤光片用放射线敏感性组合物,其为含有(A)着色剂、(B)碱可溶性树脂、(C)多官能性单体和(D)光聚合引发剂的着色层形成用放射线敏感性组合物,上述(B)碱可溶性树脂包括式(1)表示的不饱和化合物与其他可共聚的不饱和化合物的共聚物,式(1)中,R1为氢原子或碳原子数1~4的烷基,R2~R6相同或不同,为氢原子、羟基、碳原子数1~6烷基或碳原子数1~6的烷氧基,B为-COO-、或-CONH-,m为0~3的整数,其中,R2~R6的至少一个为羟基。本发明提供显影时间等的裕度优异的着色层形成用放射线敏感性组合物,该组合物在高着色剂浓度显影时也不产生残渣、浮渣,并且在低曝光量下与基板的密合性也优异,可形成高微细且具有优异图案形状的像素和黑矩阵,进而可获得所期望的图案线宽。
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