公开(公告)号：CN1690735A

公开(公告)日：2005-11-02

申请号：CN200510067055.5

申请日：2005-04-27

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 安孙子聪子 ,  阿部慈 ,  长塚富雄

IPC: G02B5/20 ,  G02F1/13

Abstract: 一种着色层形成用感放射线性组合物，其含有着色剂、碱可溶性树脂、多官能性单体及2－(4－甲基苄基)－2－(二甲基氨基)－1－(4－吗啉代苯基)丁烷－1－酮类的吗啉代苯基化合物的感放射线性聚合引发剂。该组合物可以抑制由于感放射线性聚合引发剂成分的升华对烧结炉和光掩模的污染，而且，在液体中不产生杂质，且显像性、图案形状也优良。

公开(公告)号：CN100380141C

公开(公告)日：2008-04-09

申请号：CN200510067055.5

申请日：2005-04-27

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 安孙子聪子 ,  阿部慈 ,  长塚富雄

IPC: G02B5/20 ,  G02F1/13

Abstract: 一种着色层形成用感放射线性组合物，其含有着色剂、碱可溶性树脂、多官能性单体及2-(4-甲基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮类的吗啉代苯基化合物的感放射线性聚合引发剂。该组合物可以抑制由于感放射线性聚合引发剂成分的升华对烧结炉和光掩模的污染，而且，在液体中不产生杂质，且显像性、图案形状也优良。

公开(公告)号：CN1800885A

公开(公告)日：2006-07-12

申请号：CN200510104747.2

申请日：2005-12-15

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 小山贵由 ,  饭岛孝浩 ,  安孙子聪子 ,  波多野杰

IPC: G02B5/20 ,  G02F1/1335

Abstract: 本发明涉及用于形成着色层的放射线敏感性组合物，其含有着色剂、碱溶性树脂、多官能团单体或其与单官能团单体的组合以及O－酰肟型光自由基产生剂。该组合物能够提供显影时不会残留未溶解物，不会在图象边缘产生浮渣，而且即使在低曝光量下也不会产生图案边缘的欠缺以及咬边的像素以及黑色矩阵。