丙烯酸系聚合物和放射线敏感性树脂组合物

    公开(公告)号:CN1842551A

    公开(公告)日:2006-10-04

    申请号:CN200480024689.6

    申请日:2004-08-04

    CPC classification number: C08F220/30 G03F7/0397 Y10S430/108 Y10S430/111

    Abstract: 本发明的目的在于提供对抗蚀剂溶剂的溶解性好,烘烤温度依赖性小,并且降低显像后的图案的线边缘粗糙度的抗蚀剂。丙烯酸系聚合物,其特征在于含有式(1)、式(2)、及式(3)和/或式(4)。其中,R、R′、R″与R″′表示氢原子、甲基或三氟甲基,R1表示氢原子、C1-4的直链状或支链状的烷基、烷氧基、或C1-4的直链状或支链状的氟代烷基,X表示C7-20的由碳原子与氢原子构成的多环型脂环式烃基,R2与R3相互独立地表示C1-4的直链状或支链状的烷基,R4表示C4-20的脂环式烃基,R5表示C1-4的直链状或支链状的烷基,R6与R7分别表示氢原子、或C1-4的直链状或支链状的烷基。

    丙烯酸系聚合物和放射线敏感性树脂组合物

    公开(公告)号:CN100374475C

    公开(公告)日:2008-03-12

    申请号:CN200480024689.6

    申请日:2004-08-04

    CPC classification number: C08F220/30 G03F7/0397 Y10S430/108 Y10S430/111

    Abstract: 本发明的目的在于提供对抗蚀剂溶剂的溶解性好,烘烤温度依赖性小,并且降低显像后的图案的线边缘粗糙度的抗蚀剂。丙烯酸系聚合物,其特征在于含有式(1)、式(2)、及式(3)和/或式(4)。其中,R、R′、R″与R″′表示氢原子、甲基或三氟甲基,R1表示氢原子、C1-4的直链状或支链状的烷基、烷氧基、或C1-4的直链状或支链状的氟代烷基,X表示C7-20的由碳原子与氢原子构成的多环型脂环式烃基,R2与R3相互独立地表示C1-4的直链状或支链状的烷基,R4表示C4-20的脂环式烃基,R5表示C1-4的直链状或支链状的烷基,R6与R7分别表示氢原子、或C1-4的直链状或支链状的烷基。

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